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标题: 请教:镀过AL了,机器抽不动了? [打印本页]

作者: holdout@163 时间: 2010-4-6 18:02
标题: 请教:镀过AL了,机器抽不动了?
我这边的机器是700的,以前抽速很快的,最近镀了几罩铝以后,抽到1.0E-2就抽不动了,机器刚刚洗了还是这样子,请问是什么问题呢?

作者: ftz1981 时间: 2010-4-6 19:05
是不是保养得不好啊如果没有漏点的话有可能是扩散泵油氧化了没办法拆扩散泵换油。

作者: gb936 时间: 2010-4-6 22:59
漏

作者: zhangking 时间: 2010-4-7 10:49
漏最大的可能~~~~~~~~~~~

作者: sunyan 时间: 2010-4-7 11:00
跟镀什么，好像没太大关系，有可能是漏气了，要不然就是扩散泵油氧化了。

作者: holdout@163 时间: 2010-4-7 15:04
扩散泵应该没问题的饿,因为冷井附近的电离规测得真空还是正常的
要说漏气,我没动过什么地方啊,无原无故怎么会漏气呢?

作者: gb936 时间: 2010-4-7 15:14
本帖最后由 gb936 于 2010-4-8 11:35 编辑

回复 6# holdout@163

活动和密封的部分检查一下，动密封，电极密封都看一下
别忘了看一下真空规管是好的吗。

作者: martin1980 时间: 2010-4-7 19:51
应该有漏吧，找漏挺烦人。

作者: qjy 时间: 2010-4-8 13:26
可能是漏气了，要不然就是扩散泵油氧化

作者: 苏州膜头 时间: 2010-4-8 22:01
楼主问题解决了吗？
不知你是怎么清洗的，清洗液进镀膜室了吗？是的话就把门封条下面的一段拆下，用酒精擦洗。
很多镀铝的厂家清洗时，清洗液都流到了门封条里了，干了就漏气了。我碰到了5台了，都是南光700，800机。酒精一擦什么都好了。
进口机就没有这种情况。国内的厂家应该用心做啊。。。
有效果的话，楼主就回复一下啊。。。。。。

作者: jakzhou 时间: 2010-4-11 03:19
可能是漏气了，要不然就是扩散泵油氧化

作者: holdout@163 时间: 2010-4-12 10:13
回复 10# 苏州膜头

谢谢这位苏州的朋友,我这边的问题已经解决了,的确是漏气 ,由于比较隐蔽一下子没发现出来,不过您的建议也不错,谢谢您!希望能交个朋友!

作者: sunmang 时间: 2010-4-27 05:59
跟镀什么，好像没太大关系，有可能是漏气了

作者: dyfdudu 时间: 2010-5-1 04:53
先检漏再看看扩散泵的油，不行把挡污板拆了重洗次。

作者: s511 时间: 2010-5-1 08:44
漏气的可能比较多！多查查

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