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标题: 膜料吸收太大 [打印本页]

作者: sanma 时间: 2010-4-9 20:50
标题: 膜料吸收太大
我最近用Ta2O5和Ti3O5,不加温，发现镀出来吸收非常大，有用离子源助镀。在加温情况下，吸收还是很小的，但我们的产品不允许加温。请大家推荐什么料在冷镀的情况下，K<5*10-4，n>2。

作者: fql3310 时间: 2010-4-10 23:33
建议不用改膜料，用低的速率，国产机像南光700机其真空度为1*10-2PA（充氧镀时的真空度），1.5埃每秒-TA2O5，TIO2也差不多这样的速率吧--因为很少镀过。工艺方面有用离子源（霍尔离子源-北京物理空间的，只有阳极和阴极两个极100-130V，1.5A）

作者: fql3310 时间: 2010-4-10 23:35
你可以加点温度吧，设定70度吧，里头可能才40度左右，也可以不用加温的--因为你是塑料的材质的关系。
我们镀其它东西的话设定130度时里头才70-80度左右。

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