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标题: 请教锗片与硅片的镀膜 [打印本页]

作者: sandycui 时间: 2010-5-13 11:51
标题: 请教锗片与硅片的镀膜
请教大家用于红外镜片（锗片与硅片）上的镀膜类型都有哪些以及各自的优点与缺点~~

作者: wzf0602 时间: 2010-5-13 17:59
锗作为常用的红外光学元件材料,具有折射率高、表面反射损失大以及表面易划伤等特点,因此必须镀制高性能红外增透膜,膜层强度差一直是一个难题,其原因是膜层材料结构疏松、易吸潮。特别是3~5μm和8~12μm双波段兼容范围内能用来增透的材料少,如硒化锌、氟化锶、氟化钡、氟化钙等,这些膜料本身结构松软,镀出的膜层强度差,氟化锶、氟化钡、氟化钙等还易吸潮。在膜料的选择中,我们采用了膜层强度好,但有一定吸收的氟化钇作为红外增透膜的低折射率材料,并采用了离子束辅助沉积技术来增强薄膜的强度。最后还提出了采用脉冲电弧离子镀技术在红外增透膜表面镀制类金刚石膜(DLC)作为保护膜,进一步提高了膜层的强度,获得到光机性能较好的双波段(3~5μm和8~12μm)兼容红外增透膜。

作者: sandycui 时间: 2010-5-13 18:18
今天听到有人提到说在硅片上镀双面AR膜，而在锗片上镀类金刚膜~这两种膜有何不同？
另外，是否不同的红外材料对于同类膜材料的镀膜效果也有所不同？
抱歉~偶刚入这行，可能问得问题会比较弱一些 =）

作者: 250674670 时间: 2012-5-8 02:22
镀膜工艺谁可以说说，用晶控可以做吗，最近接了个单不知道怎么做，希望大侠指点

作者: guhua530 时间: 2012-5-8 07:52
本帖最后由 guhua530 于 2012-5-8 07:53 编辑

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作者: jxg 时间: 2012-5-10 12:09

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