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标题: ITO薄膜表面粗糙 [打印本页]

作者: 526951749 时间: 2010-5-14 10:55
标题: ITO薄膜表面粗糙
本帖最后由 526951749 于 2010-5-14 11:09 编辑

刚蒸完的ITO薄膜在200倍显微镜下就可以看到比较粗糙，类似颗粒堆积，退火后颗粒更明显。不过透过率和方阻分别为95%和12。请教是何种原因导致薄膜较粗糙？
电子束蒸发，无离子助镀

作者: fanyushan 时间: 2010-5-15 18:13
应该是蒸发速率大，或基地温度高所致

作者: new1980 时间: 2010-5-20 12:09
有没有人讨论一下啊？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？

作者: z1206l 时间: 2010-6-29 19:23
镀ITO得下一番功夫，楼主可以做个DOE实践一下。
主要是针对温度和退火。

作者: 镜片检测 时间: 2010-6-30 11:41
测反射率吗？我有测反射率的机子。

作者: 冰雨8788 时间: 2010-8-5 21:45
没接触过，不过很想学习一下，请高手多多发言！！！！！！！！！！！！！！！！

作者: qqucqquc 时间: 2010-9-26 23:05
学习了，但是讨论的人好少啊

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