光电工程师社区

标题: 镀出的产品有白雾，求助！！！！！ [打印本页]

作者: JZNT 时间: 2010-5-29 10:16
标题: 镀出的产品有白雾，求助！！！！！
这几天我们镀的产品表面有白雾现象，白茫茫一片。基底K9玻璃，材料是Ta2O与SiO2,请大家帮忙分析一下原因。

作者: yufe16fisher 时间: 2010-5-29 11:35
是不是水渍？还是很小的密点？

作者: hwz1314 时间: 2010-5-31 17:00
能清洗得掉吗？

作者: zzzz 时间: 2010-6-1 10:50
可能的原因较多
得先分析下白雾的表象是什么

作者: JZNT 时间: 2010-6-1 15:17
是很小的白点一样，而且是没法搞掉，主要出现在边缘，中间是没问题的。

作者: tanghengxin 时间: 2010-6-1 16:26
回复 5# JZNT 的帖子

擦拭的方法是否和原来一样

作者: yufe16fisher 时间: 2010-6-1 19:02
是不是边上没有清洗干净？

作者: JZNT 时间: 2010-6-2 09:39
不是擦拭或清洗的问题

作者: APS1104 时间: 2010-6-5 10:04
基底是否在镀之前已腐蚀？在镀膜时的真空度如何？腔体的清洁及夹具的清洁是否到位？

作者: LIUYONGLIN 时间: 2010-6-5 11:34
基底是否在镀之前已腐蚀？在镀膜时的真空度如何？腔体的清洁及夹具的清洁是否到位？

作者: devilmc23 时间: 2010-6-6 13:31
是不是在镀制滤光片的时候出现的这种情况？工作真空多少

作者: jiaowei2925 时间: 2010-6-8 04:18
如果能看到图片就更好了呵呵

作者: devilmc23 时间: 2010-6-8 08:50
我总觉得这个跟环境还有真空度关系比较大。。。不像基底腐蚀。。。

作者: caidajun300 时间: 2010-6-9 10:28
确认一下真空计测量是否准确。

作者: new1980 时间: 2010-6-13 12:12
发雾，没事

作者: JZNT 时间: 2010-6-14 14:38
整个表面都是白的，没法使用呀。

作者: leicd 时间: 2010-6-18 16:35
ZK9也很容易出现这样的白雾，不知是为何？

作者: zzzz 时间: 2010-6-22 08:29
那就是材料问题,就是光学加工的问题了

作者: JZNT 时间: 2010-6-22 13:51
材料和基片在别的机器上都是没有问题的！

作者: baron 时间: 2010-6-23 08:56
是不是一块一块的

作者: JZNT 时间: 2010-6-28 16:07
是环形的，

作者: zzzz 时间: 2010-6-29 08:09
如果同样的材料在其它设备镀没问题,那就是你设备电子枪\离子源的问题了

作者: z1206l 时间: 2010-6-29 18:35
楼主的问题解决了吗？

镀膜前清洗和镀膜腔的洁净度，真空度有很大嫌疑啊。

作者: JZNT 时间: 2010-7-1 08:48
我们也怀疑真空有问题，但是检漏没有发现有漏的，而且真空显示是好的。

作者: fulong927 时间: 2010-7-1 16:35
用没用离子源，有时离子源打火会出现这种问题，特别是霍尔源。

作者: kushen 时间: 2010-7-5 15:18
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作者: sunmang 时间: 2010-10-22 09:00
是不是膜料出的问题啊

作者: lukaiyan 时间: 2010-10-30 16:20
检查一下氧气量

作者: nongyuanfeng 时间: 2010-10-30 22:34

作者: xtgdgxf 时间: 2010-11-3 09:15
这可能与环境空气中的湿度有一定关系

作者: ychm1002 时间: 2010-11-3 09:36
如果用了离子源，清洁下离子源

作者: 宇宙深处 时间: 2010-12-10 09:54
其实原因会很多，真空度；膜材蒸发速率；腔体洁净度；离子源的输出功率；基片的洁净度；粗抽气时腔内空气扰动。还有~~等等

作者: qqucqquc 时间: 2011-2-12 23:57
如果是原来没有，突然出现的白雾，可能与光坯处理不当有关了

作者: jingping 时间: 2011-2-13 16:47
1. 首先确认一下夹具是否清洁干净. 烘烤了
2. 你的基体是擦拭的还是超声波清洗的.要区分清楚. 检查的时候看看是否有水渍残留
.

.

作者: xcy1075 时间: 2011-2-13 20:54

是用夹具,还是用胶带粘的,认真看一下也说不定是离子源的能量和夹具产生的火花

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