光电工程师社区

标题: 急求,镀膜机出问题了! [打印本页]

作者: wfbadjx    时间: 2010-6-3 18:15
标题: 急求,镀膜机出问题了!
用一台很老的DM-450C型真空镀膜机,机子估计已经用了很久了,期间还烧过一次。。。
早上用机子的时候还不错,但是下午镀的时候一开始是开高阀没有用,气压一点也不动。
关机,重新启动,高阀开了,可以用了,但是抽到4E-3Pa的时候就抽不动了,而且过了几分钟后气压开始上升。
而且没有顶的,一直在升。
很奇怪,要是漏气的话应该顶多就是抽不动,怎么会气压还会上升呢?
请教各位大哥!
作者: zzzz    时间: 2010-6-4 16:04
啥是烧过一次???
作者: qjy    时间: 2010-6-4 16:31
很可能是高阀出问题了,高真空状态下关闭高阀真空度就会一直缓慢下降
作者: 280345601    时间: 2010-6-4 16:46
DM450...
作者: resees    时间: 2010-6-4 20:52
拉杆切换出现问题的可能性最大,其次就是储气罐
作者: z1206l    时间: 2010-6-29 20:28
关闭相应的阀门,看看真空度变化情况。
作者: imgyang    时间: 2010-7-13 18:51
1.漏气;
2.漏水;

作者: wazxq    时间: 2010-7-15 09:11
有可能扩散泵有问题
作者: 冰雨8788    时间: 2010-8-10 21:48
请高手指点,我也在学习中。。。。。。。。。
作者: x_x_x_f    时间: 2010-8-27 23:26
扩散泵过热。把炉盘降低些试试。

作者: ngfcaipiao    时间: 2010-8-28 12:14
将机子拆了吧,这么老!




欢迎光临 光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/) Powered by Discuz! X3.2