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标题: MEMS版图设计 [打印本页]

作者: dwzgy 时间: 2010-6-11 22:59
标题: MEMS版图设计
MEMS版图设计时间:2010-06-02 20:02来源:MEMS资讯网作者:MEMS 点击:109次
MEMS的版图设计与加工工艺密切相关，但我国目前还少有成熟MEMS加工工艺，因此版图设计软件对各种工艺标准的兼容性显得尤为重要。
集成电路的版图设计已经较为成熟，MEMS器件的版图可以利用集成电路已有的成熟的版图设计工具，按照版图设计规则和相关工艺要求进行设计和完成。

MEMS的版图设计与加工工艺密切相关，但是我国目前还少有成熟的MEMS加工工艺，因此版图设计软件对各种工艺标准的兼容性显得尤为重要。该软件不仅要能够方便地绘制和修改版图，输出各种类型的掩模文件，还要可以定制工艺过程，并结合工艺过程和版图生成3D实体模型。

MEMS设计涉及到多个领域和多个环节：基于电路仿真的系统级设计，基于有限元分析的器件级设计，基于EDA技术的版图设计。为适应
MEMS设计发展的需要，各软件公司，特别是EDA或CAE公司都致力于推出集成的MEMS设计开发环境。MEMS Cap和ANSYS,Inc无疑是这方面的先行者，其联手推出的MEMS ProPlus ANSYS很好地适应了前面所述的两种设计流程，构建了一个高度集成的MEMS设计开发环境。

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