光电工程师社区

标题: 日本电子的电子枪在熔料过程中真空度变化求解决方法 [打印本页]

作者: JZNT 时间: 2010-6-14 14:47
标题: 日本电子的电子枪在熔料过程中真空度变化求解决方法
近期我的一台机在熔Ta2O5的时候，电子枪启动大约5~10分钟就出现真空度急剧变化，能从-3次方变为0次方出现报警，电子枪是日本电子102的环形坩埚，有哪位大侠知道原因的请告诉我。

作者: sunyan 时间: 2010-6-14 15:55
检查一下坩埚冷却水。

作者: JZNT 时间: 2010-6-15 08:37
检查了，没问题

作者: sunyan 时间: 2010-6-15 09:23
只有在熔Ta2O5时候才这样吗？

作者: JZNT 时间: 2010-6-16 16:10
是的，我用的是双枪的，只有Ta2O5的这个出现这样的情况。

作者: sunyan 时间: 2010-6-16 17:53
兄弟，是不是膜料自身的事啊，如果允许的话，换别的批次的Ta2O5试试。而且我想问一下，以前用过Ta2O5吗？也就是说用这个设备镀过Ta2O5吗？还是最近才开始用Ta2O5的？

作者: 280345601 时间: 2010-6-16 20:00
直冷还是间冷的！膜料应该没这么大放气量吧

作者: JZNT 时间: 2010-6-17 14:27
膜料在别的机器上时好的，原来也是用的Ta2O5！

作者: sunyan 时间: 2010-6-17 17:20
除了Ta2O5其他的膜料还正常，那我就整不明白了，如果其他的膜料以这样，那有可能是真空计有问题，或者显示有问题。

作者: JZNT 时间: 2010-6-18 11:48
真空室内有两个真空计不可能同时出问题呀。

作者: sunyan 时间: 2010-6-18 14:38
神奇了，楼主知道原因了，一定要分享啊，先谢谢了。

作者: sunyan 时间: 2010-6-18 14:39
回复 JZNT 的帖子

我QQ58224545，交个朋友。

作者: zzzz 时间: 2010-6-22 08:32
我不明白的是怎会用环形锅来熔TA2O5了
熔其它料会吗?
另一枪有这问题吗?

作者: JZNT 时间: 2010-6-22 13:49
我用的都是环形坩埚，另一个是好的，没问题。有人提出时冷却水路有问题。

作者: sunyan 时间: 2010-6-22 16:24
直到现在还没解决啊？？？？

作者: baron 时间: 2010-6-23 08:54
你的设备是不是用冷泵的?????

作者: mxb010ak47 时间: 2010-6-28 13:02
嗯，少见，坐等高人回复。

作者: JZNT 时间: 2010-6-28 16:04
问题解决了，是冷却水路有问题。电子枪工作后部件的热变形，冷却水有微漏。

作者: 苏州膜头 时间: 2010-6-28 19:44

我用的都是环形坩埚，另一个是好的，没问题。有人提出时冷却水路有问题。
JZNT 发表于 2010-6-22 13:49

环形锅融五氧化二钛速率稳定吗？另一个锅融什么啊？
能说说为什么用双环形锅吗？有什么好处啊??

作者: xhzhi1987 时间: 2010-6-28 22:53

作者: zzzz 时间: 2010-6-29 08:07
可能还是该枪哪儿有微漏

作者: z1206l 时间: 2010-6-29 18:21
同一个枪，熔其他的膜料有问题吗？
同一个膜料，不同的枪会出现差异吗？
熔的时候是否充氧？

作者: 苏州膜头 时间: 2010-6-29 22:49

同一个枪，熔其他的膜料有问题吗？
同一个膜料，不同的枪会出现差异吗？
熔的时候是否充氧？
z1206l 发表于 2010-6-29 18:21

固体蒸发的膜料用环形锅比较好，液体蒸发的膜料用多穴锅比较好，融的时候不用充氧。
以上是个人观点，欢迎讨论。

作者: kushen 时间: 2010-7-5 15:38
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作者: JZNT 时间: 2010-7-7 15:56
谢谢各位的发言！！！！

作者: yzhuang 时间: 2010-7-8 11:12
检查坩埚的下的水冷密封圈，九成的可能是水冷密封不好，一般看是看不出来的，可以换一个密封圈试试

作者: JZNT 时间: 2010-7-29 10:48
在电子枪工作的时候才出现问题，而坩埚下面是没有温度变化的。不是那里的问题。

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