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标题: 镀膜原理--coating theory [打印本页]

作者: zz309    时间: 2010-6-18 14:05
标题: 镀膜原理--coating theory
真空蒸鍍
  蒸鍍是在高真空狀況下,將所要蒸鍍的材料利用電阻或電子束加熱達到熔化溫度,使原子蒸發,到達並附著在基板表面上的一種鍍膜技術。

         在蒸鍍過程中,基板溫度對蒸鍍薄膜的性質會有很重要的影響。通常基板也須要適當加熱,使得蒸鍍原子具有足夠的能量,可以在基板表面自由移動,如此才能形成均勻的薄膜。基板加熱至150℃以上時,可以使沈積膜與基板間形成良好的鍵結而不致剝落。


真空濺鍍
  在濺鍍過程中,將靶材裝置陰極,而陽極上裝載待鍍物,將陰極加到數百伏特電壓,陰極所加電壓相對陽極而言為負,因而游離的離子以高速撞擊「靶材」,將其表面的粒子打出,此過程即稱為「濺射」,被濺射出的粒子沉積到被鍍的基材上,形成一層類金屬的薄膜。





Roll to Roll(繞捲式)真空鍍膜
一、Roll to Roll (R2R)技術原理
  R2R技術主要是因應軟性電子產品時代的關鍵製造技術,其原理是以特殊處理之滾筒(Drum)在可繞曲(紙、塑膠、金屬)薄膜基材上,以連續性滾壓或沉積的方式生產大面積元件。
  相關技術可應用於:E-paper、Flexible Display、TCO film、FCCL、Thin Film Solar Cell、IMD、RFID Antenna…等。

資料來源:工研院機械與系統研究所


二、Roll to Roll (R2R)繞捲式真空鍍膜設備之基本概念
  R2R繞捲式真空鍍膜設備具有可連續式、可同時鍍多層膜及生產效率高等特性,與傳統批次型(Batch type)或連續式(In-line)生產方式比較,可大幅降低生產成本,極具量產經濟價值及競爭性。
  基本架構如圖所示,依傳輸順序過程主要可分為:送捲室(unwinding)、中間轉換室(intermediate)、鍍膜沉積室(deposition)及收捲室(rewinding)等四大區域;其中鍍膜沉積室的裝置可選擇濺鍍(Sputter)、蒸鍍(evaporation)、電子槍(E-beam Gun)…等,亦可依不同的鍍膜種類及層數需求,擴充至multi-drum及multi-deposition,而中間轉換室則包含前理處基材表面清潔裝置(pre-treatment)、後處理鍍膜表面品質檢測裝置(post-treatment)。





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