光电工程师社区

标题: 为什么膜会蒸镀到背面 [打印本页]

作者: sanma 时间: 2010-7-22 13:50
标题: 为什么膜会蒸镀到背面
我镀一种产品，冷镀，增透膜，镀完任一面后，它的另一面就会变厚很多，有50nm左右，不知为什么？请有类似情况的，帮忙解释一下。

作者: zzzz 时间: 2010-7-23 16:19
这个要看你产品的形状和夹具的设计了

作者: JZNT 时间: 2010-7-29 10:43
夹具好了就没有问题了。

作者: s100200153 时间: 2010-8-1 10:40
回复 JZNT 的帖子

作者: jingping 时间: 2010-8-3 17:22
基体的材质与夹具要了解哦

作者: Aaron-Lee 时间: 2010-8-5 17:57
看起來像是逸鍍.傘架或夾具有空隙.

作者: ysh522 时间: 2010-9-2 22:29

这应该是漏膜吧

作者: wazxq 时间: 2010-9-3 22:25
50nm如何测试的？均匀厚度吗

作者: lunik 时间: 2010-9-4 10:43
俺也很好奇这个50nm的厚度。

作者: faith3h 时间: 2010-9-8 19:35
学习学习来！！！！！！！！

作者: kushen 时间: 2010-9-9 16:06
提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽

作者: yezhi381009880 时间: 2010-9-13 22:04
这和机型有关系吗？？会不会是绕射过去的。不过最大的还是上盘方式和晶体的保护方式

作者: z1206l 时间: 2010-9-28 14:04
这个问题很尖锐啊！
首先背面50nm是如何镀上去的，这个问题很有意思，难道是挡板太靠近电子枪?
其次50nm是如何测试的?
或者你们的机台有自动翻转机构，而翻转机构出现故障？

镀增透膜一般看光谱和颜色来判定品质，不用测厚度吧。如果楼主是通过曲线来判断镀厚50nm，这点很是怀疑。

作者: yangdaoqi 时间: 2010-10-3 00:36

作者: 冰雨8788 时间: 2010-10-5 16:04
是的，上面的分析很精辟，楼主可以从这几个方面找原因。。。。。。。。。。。。。。

作者: 蓝色海洋 时间: 2010-10-8 20:17
回复 sanma 的帖子

是绕设造成的

作者: 山村野夫 时间: 2010-10-24 15:33
标题: RE: 以前冷度也经常遇到，第二面的曲线完全变形。后来将家具上的缝隙都用锡纸包好后就

作者: dewei5210 时间: 2010-11-25 18:33
学习学习来！！！！！！！！

作者: 终南子 时间: 2010-11-30 21:03
具体工艺具体分析,还要看用的什么材料了

作者: 宇宙深处 时间: 2010-12-2 11:34
逸镀现象,很正常。也有部分触壁反弹的。被镀基板加护片即可！

作者: z1206l 时间: 2010-12-2 12:43
这是正常现象。
因为镀膜理论就是这样的，分子往上跑的轨迹不完全是直线的。

可以做个盖子盖起来。

作者: new1980 时间: 2010-12-7 11:08
有50nm这么厚？？

作者: darly009 时间: 2010-12-8 09:58
50nm的厚度怎么镀？

作者: keyanfang 时间: 2011-3-6 23:02

z1206l 发表于 2010-12-2 12:43
这是正常现象。
因为镀膜理论就是这样的，分子往上跑的轨迹不完全是直线的。

盖子？？
是mask吗？

作者: wlinliu 时间: 2011-3-7 02:47
50nm啊,漏了这么多,那你的夹具设计问题可太大了,把空隙想办法堵上,边上分子也容易撞在炉壁上发生反弹,给漏镀的,记得把边加高

作者: sery1234 时间: 2011-3-7 16:37
这是正常的，我镀的会厚20NM左右，我想你镀膜的产品中间是有空隙的，而且为了保护机器的顶部不弄脏，你还在上面加了盖板，这样的话原子碰到回反射回来，如果你把盖子拿掉，会好点，但是得不偿失，你镀膜第一面的时候有意识的做短一点就好了，另外楼主说的长50NM的意思应该是本来我做好的光谱是单点1550NM的，结果镀膜完成后跑到1600NM去了，另外，产品镀膜完成后自然冷却的过程，和二次烘烤也会引起一些变化，即使冷镀最后基片上温度也有100左右。

处理这种问题，我觉得就是多看几次，找到准确的规律，比如你最后一层如果用360膜厚仪控制的话，1NM会引起多少NM的误差（光谱上），镀第一面和第二面的时候最后一层调整下就好了，也不用变化膜系，对于单点的来说，最后一层只是影响到长短的问题，而不会引起最低点的变化，当然是小范围的了。希望大家共同交流！

作者: xiaohuilee 时间: 2011-5-29 11:47
加盖板镀膜就不会产生了

作者: gxfdllg 时间: 2012-5-10 16:22
镀的膜时间长了就会更加明显，像镀IR好几十层! 第一面总有吸收。加盖板比较简单实用。

作者: wdydede 时间: 2012-5-10 23:20
"这是正常的，我镀的会厚20NM左右，我想你镀膜的产品中间是有空隙的，而且为了保护机器的顶部不弄脏，你还在上面加了盖板，这样的话原子碰到回反射回来，如果你把盖子拿掉，会好点，但是得不偿失，你镀膜第一面的时候有意识的做短一点就好了，另外楼主说的长50NM的意思应该是本来我做好的光谱是单点1550NM的，结果镀膜完成后跑到1600NM去了，"
我个人觉得28楼说的有道理！实际的光学厚度只的50/4=12.5nm，如果再除去折射率则厚度会更小。
没有冷镀过，

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)