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标题: SI材料蒸发喷溅问题 [打印本页]

作者: starofage 时间: 2010-10-10 20:39
标题: SI材料蒸发喷溅问题
请教各位大虾，我在用电子枪打SI的时候老是喷溅啊，束流小了又蒸不动，请问有什么好办法吗？谢谢

作者: ychm1002 时间: 2010-11-1 22:10
什么材质坩埚，可以用钼坩埚试试

作者: xinliangrizhao 时间: 2010-11-2 15:59
实际的蒸镀束流，速率有多少？SIO2很好蒸啊。

作者: new1980 时间: 2010-12-14 11:08
电子枪蒸SI不太好

作者: 终南子 时间: 2010-12-16 22:13
第一、材料要预熔透，预熔和蒸镀的时候电子束光斑不要打到坩埚上
第二、蒸镀的时候电子束光斑要稳定在坩埚中间
第三、蒸镀的时候蒸发速率不要太高
做到以上三点，一般就不会发生喷溅了

作者: zofy 时间: 2010-12-17 10:22
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楼主蒸发的是SI啊，用钼锅试试

作者: xinliangrizhao 时间: 2010-12-19 13:39
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哦，SI还可以蒸的吗，不都是溅射SI吗？主要在那些方面应用？

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