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标题: MEMS的未来 [打印本页]

作者: duller 时间: 2010-10-19 09:51
标题: MEMS的未来
1、MEMS与无线通信领域

在无线通信终端领域，对微型化、高性能和低成本的追求使大家普遍期待能将各种功能单元集成在一个单一芯片上，即实现SOC(System On a Chip)，而通信工程中大量射频技术的采用使诸如谐振器，滤波器、耦合器等片外分离单元大量存在。MEMS技术不仅可以克服这些障碍，而且表现出比传统的通信元件具有更优越的内在性能。

日前，IBM公司采用MEMS技术已经开发出了能够用在手机等无线装置上的微型嵌入式频率调谐器和其他设备。

2、MEMS与微波射频技术

（1）MIC：microwave integrated circuits（微波集成电路）

（2）MMIC：monolithic MICs（单片微波集成电路）

（3）采用MEMS技术，可以制作MEM 开关、各种MEMS 增强的平面微波无源器件、MEMS 谐振腔等等。

3、MEMS光通信与光网络

MEMS技术可使开发就地配置的光器件成为可能。用于光网络的MEMS动态元件包括可调的激光器和滤波器、动态增益均衡器、可变光衰减器以及光交叉连接器等。此外，MEMS技术已经在光交换应用中进入现场试验阶段，基于MEMS的光交换机已经能够传递实际的业务数据流，全光MEMS光交换机也正在步入商用阶段。

2003年3月，日立制作所机械研究所与日立金属下属的尖端电子研究所合作，日前成功开发出了用于城域网的三维MEMS型光交换元件。该元件通过采用三维MEMS型光矩阵交换方式，同时实现了小型化设计和低损耗。

4、MEMS与生物技术

生物芯片是近年来在生命科学领域中迅速发展起来的一项高新技术，它主要是指通过微加工技术和微电子技术在固格体芯片表面构建的微型生物化学分析系统，以实现对细胞、蛋白质、DNA以及其他生物组分的准确、快速、大信息量的检测。

常用的生物芯片分为三大类：即基因芯片、蛋白质芯片和芯片实验室。

5、MEMS与纳米技术

纳米技术与MEMS技术作为在尺度上的两个不同的概念（纳米的尺幅范围是在100nm—0.1nm，而微机械的尺寸定义在0.1mm到1微米）。纳米技术的应用主要包括纳米材料、纳米电子技术、纳米机器人、纳米卫星还有纳米武器。

R•费依曼曾经设想:“如果有一天可以按照人们的意志安排一个个原子，那将会产生怎样的奇迹？”现代的MEMS技术正是建立在微米与纳米尺度之上。两者优势的结合，前景是不可限量的。

6、MEMS在交叉学科中的具有广泛的应用

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