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标题: MEMS技术分类 [打印本页]

作者: 光电人 时间: 2010-10-19 10:00
标题: MEMS技术分类
（一）传感MEMS技术

在MEMS技术研究领域中，传感MEMS是指采用微电子和微机械加工技术制造出来的、特征尺寸至微米/纳米级、具有将感受量转换为电信号的器件和系统，包括：速度、加速度、压力、温度、湿度、气体、磁、光、声、生物、化学等传感MEMS，它是人类探知自然界的触角，是各种现代化装置中的神经元。

现代信息技术是20世纪人类社会发展的重要资源和动力，作为信息采集技术的传感器技术、作为信息传输技术的通讯技术、作为信息处理技术的微处理器技术已成为现代信息技术的三大支柱。作为现代高新技术的传感器MEMS技术是现代传感器技术的重要发展方向。80年代后期MEMS技术的飞速发展，极大的推动了微传感器技术和微执行器技术的发展。采用MEMS技术制作的微传感器由于体积小、重量轻、成本低、功耗低、高可靠、易于批量化生产、易于集成化和多功能化，是各种自动化装置发展的现代武器装备必不可少的关键技术，其应用领域十分广泛。

（二）生物MEMS技术

生物MEMS技术是一类应用MEMS加工技术制造的化学/生物微型分析和检测芯片或仪器。它把生化检测过程中的进样、反应、分析、检测等功能通过在固相基片上的微反应器（微流体腔和微流体管道）实现。借助于MEMS加工技术制备的微阵列芯片是生物MEMS研究的重要方面，药物缓释芯片以及其它与生物医学诊断与治疗相关的芯片式微型装置和仪器也是生物MEMS的研究内容。

生物MEMS是一种典型的MEMS器件及系统，具有体积小、成本低、可标准化和批量化生产等特点。在功能上它具有获取信息量大、分析效率高、样品用量少、操作简便、可实现生物和化学信息的实时自动化检测等特点，在生物医学、化工、制药、农业、环境监测、国家安全等许多研究和应用领域有重要的应用。

（三）信息MEMS技术
现代信息技术的基础和核心是微电子技术，从微电子技术二维加工到MEMS技术，又对信息技术的新发展产生重大作用。人们可以在一个芯片或微型系统上将信息获取、信息传输、处理和执行等功能集成起来。这类用于通信、多媒体、网络和智能等领域中的MEMS技术称为信息MEMS技术。信息MEMS技术中已形成产业的有硬盘读写头、喷墨打印头、数字微镜阵列（DMD）等。目前的研究热点是全光通信和移动通信中的MEMS技术如MEMS光开关和RF MEMS开关等。
信息MEMS技术在信息技术中的应用会促进许多产品的集成化、微型化、智能化，成倍地提高器件和系统的功能密度、信息密度和互连密度，大幅度地节能降低功耗，具有广阔的应用前景，对通信、交通、国防和家庭将带来革命性影响。

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