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标题: 基于特征的MEMS器件建模方法 [打印本页]

作者: duller 时间: 2010-10-19 10:06
标题: 基于特征的MEMS器件建模方法
基于几何的工艺模拟方法的通病在于非常烦琐和不直观。为了解决这一问题，人们提出了基于特征的MEMS器件建模方法。

Gao等首先将特征的概念引入MEMS器件设计领域，系统地提出了基于特征的MEMS几何建模方法(ferature-based microsystem geometric modeling，以下简称FBMGM)。Gao等人的研究工作大致可以分为以下三个部分:

（1）定义表面微加工MEMS器件的设计特征和制造特征。设计特征主要定义在层上，包括弯曲(Bend)、突起(Protrusion)、切削(Cut)、支撑点(Anchor)以及转移(Transfer)等。制造特征关联具体的工艺步骤，包括腐蚀(Etching)和搀杂(Doping)等。
（2）采用设计特征构造MEMS器件的模型，即通过基于特征的设计方法(Design by Feature)构造MEMS器件的模型。设计活动集中于单个层上进行的。在设计层上，设计人员通过选择轮廓和厚度生成一个设计特征实例，同时根据几何依赖(即在表面微加工领域，所有器件的层都无缝贴合在一起)的关系，通过特征传播(Feature Propagation)将添加当前特征产生的影响传递到其他受影响的层以生成该层的设计特征。
（3）使用特征映射(Feature Mapping)从设计特征中生成制造特征，而后从制造特征中直接获得掩模。
FBMGM方法通过特征将设计与制造工艺规划解祸，适合于面向功能的设计模式，同时该方法又保证了可制造性。但这种方法需要预先选择一个标准工艺来初始化所有的层，设计活动必须在层上进行，所获得的模型也都是以层为核心组织的。此外，使用该方法还需要开发专用的设计工具。

西安交通大学的黎岩等也提出了基于层设计思想的微器件特征建模方法，并建立了基于Web方案的“浏览器/服务器/数据库”三层体系结构的特征建模原型系统。与FBMGM方法相比，该方法还比较初步。

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