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标题: MEMS综合与优化设计 [打印本页]

作者: duller 时间: 2010-10-19 10:16
标题: MEMS综合与优化设计
现行的MEMS设计主要还是依靠手工设计以及设计者的知识与专业设计水平，而VLSI中的数字逻辑综合为IC设计带来实现自动化设计的成功，成为我们设计MEMS器件的一种参考与借鉴。MEMS器件综合还是一个成长的新兴的领域。

MEMS综合的思想就是根据设计者提出的功能设计要求，在一定的约束条件下，利用综合工具以及优化算法，导出一种快速、优化的配置，即要能自动生成MEMS器件的拓扑图与器件结构尺寸。

MEMS综合的意义：

MEMS综合即是要实现MEMS的自动化设计，缩短设计周期；使非MEMS专业人土也能设计制造MEMS器件。综合方法与综合工具对于MEMS器件与设计就像IC领域里的EDA对于集成电路一样具体革命性意义。

对于MEMS综合中的初步探索阶段的单个器件综合设计，可以分两个阶段：

(1)器件综合：器件综合可分为器件结构综合与版图综合，器件结构综合是确定器件结构物理参数与性能；版图综合是对设计得到的器件结构进行平面图形生成。

(2)工艺设计综合：工艺综合就是对于一个给出的结构自动地设计出工艺过程。

而MEMS综合的最高目标是要达到MEMS的系统综合，而不仅仅是实现单个器件的设计综合。还要考虑整个MEMS系统间的相互作用和耦合效应，以及信号处理与控制电路部分。MEMS系统综合考虑的因素比较多，还必须具备完备的MEMS器件单元库，要实现MEMS系统综合这一过程还有比较长的路要走，但MEMS系统综合是MEMS设计的一种必然趋势。

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