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标题: MEMS的系统级仿真 [打印本页]

作者: soft 时间: 2010-10-19 20:55
标题: MEMS的系统级仿真
系统级仿真是MEMS分析与设计的独特要求，也是MEMS CAD要实现的目标。MEMS既不同于IC，又不同于宏观机械，强调在单一或多个芯片上集成传感、信号处理、控制及驱动于一体的思想。另一方面，MEMS更强调系统整体的输出特性，对于传感器，这一点尤为重要。因此，必须将场分析、电路结合起来，建立系统方程，统一求解。这样对于同时具有多个MEMS器件和外部处理电路的系统进行系统级模拟能大大降低设计成本，加快系统设计、缩短开发周期。

当今技术的发展要求设计者必须考虑微系统中的MEMS设计，即集成了微传感器、信号处理电路和微执行器的设计，这就需要进行MEMS设计方法与设计技术的研究，MEMS器件的系统级仿真模拟已经成为研究的一个重要部分。但由于MEMS器件与电路中的器件单元有着较大的差异，不能在集成系统设计方面常用软件（如SPICE）中进行一致性的描述和系统级的模拟，增加了系统设计的难度。为解决这一系统级设计的瓶颈，人们开展了一系列的研究与探索，建立MEMS器件的宏模型成为解决矛盾的重要方法之一。系统级模拟的首要任务是建立MEMS器件的宏模型。

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