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标题: 微机电系统CAD设计的过程及展望 [打印本页]

作者: soft 时间: 2010-10-19 20:55
标题: 微机电系统CAD设计的过程及展望
微机电系统CAD设计的一般过程是：通过掩膜及工艺或结构的直接描述，由结构仿真器生成三维几何模型。然后从材料数据库中提取元件的材料特性，将其插入几何模型中，生成完整的三维模型，再用该模型进行多能量域的分析。微机电系统的模拟主要包括三维结构的建立、模型器件的物理特性的模拟、实验结果的评估和分析。

在过去的十余年中，微机电系统CAD的研究取得了一定的成果，能够针对微系统中的某些功能模块、典型器件或加工工艺在物理层上进行计算机模拟仿真。但是，总体来看还远未达到完全实用化的水平，还有一些关键技术未能解决。重点要解决的是：如何将分立的不同领域的CAD功能模块整合起来，有效地实现系统级模拟仿真；如何在允许的误差范围内对模型进行简化，将不守恒能量系统集成到模拟仿真环境中；系统级仿真的实现和不守恒能量的模拟问题，研制出能够在系统级实现内容完善、性能可靠、符合实际、用户界面友好的完全商品化的实用的软件工具。

微机电系统CAD的研究成果，对微机电系统的科研、产品开发起到了推动作用。同时，微机电系统的快速发展也加快了CAD进步的步伐。两者相互促进，形成了一个良性循环的机制。可以预见，微机电系统CAD的研究将会为整个微机电系统产业带来巨大的推动力。

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