光电工程师社区

标题: 请问行星回转系统哪已家镀膜机供应商做的好，国内国外都可以。 [打印本页]

作者: dreamingwill 时间: 2010-12-15 09:27
标题: 请问行星回转系统哪已家镀膜机供应商做的好，国内国外都可以。
没用过这类设备，想了解一下，知道莱宝光驰有类似的机器，还有其他的吗？国内有厂商能做吗？

作者: legendlyy 时间: 2010-12-15 16:23
Satisloh

作者: 苏州膜头 时间: 2010-12-15 18:56
没有万能的镀膜机的，包括莱宝，光弛。
主要看你的产品了，你做什么的?反光碗吗？

作者: qjy 时间: 2010-12-15 20:58
要行星夹具镀膜机无非是想得到较好的膜厚均匀性，其实没有必要，行星夹具镀膜机价格贵而且利用率低。其实要做到好的膜厚均匀性，只要在普通镀膜机里制作一个合适的膜厚修正档板就可以了。这样做不但保证了膜厚均匀性，而且镀膜机利用率高，成本也低得多，可谓一举多得。

作者: xinliangrizhao 时间: 2010-12-19 14:08
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井底之蛙

作者: qjy 时间: 2010-12-19 15:37

xinliangrizhao 发表于 2010-12-19 14:08
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井底之蛙

这位井外的朋友有啥高见，请不吝赐教！

作者: xinliangrizhao 时间: 2010-12-19 15:40
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可否听过可调角度的行星转盘？

作者: xinliangrizhao 时间: 2010-12-19 15:41
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不说你用过什么镀膜机了，就问你都见过些什么样的镀膜机？

作者: qjy 时间: 2010-12-19 22:16
可调角度的怎么了？可调角度的不是同样为了得到较好的均匀性吗？好像很高深一样，你懂得多，给我们这些孤陋的井底蛙讲讲呗！

作者: gxbm 时间: 2010-12-21 08:37
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不管怎么说，行星夹具的一些优点普通挡板是没有的。当然，根据需要配置是最合理的。

作者: xiezhizhi188 时间: 2010-12-21 08:45
晕
最重要的你们没想到啊

作者: 阿俊 时间: 2010-12-22 18:22

gxbm 发表于 2010-12-21 08:37
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不管怎么说，行星夹具的一些优点普通挡板是没有的。当然，根据需要配置是最合理的。

是的，行星夹具可以使半球状镜片膜层一致，但修正板是无法达到的。修正板只能保正夹具从上至下膜层的一致，但无法使单一镜片的每点面膜层一致。

作者: 苏州膜头 时间: 2010-12-22 19:53

阿俊发表于 2010-12-22 18:22
是的，行星夹具可以使半球状镜片膜层一致，但修正板是无法达到的。修正板只能保正夹具从上至下膜层的一 ...

半球状镜片用了行星夹具还是要调角度，加修正板才能达到满意的效果。没有修正板是不行的，除非高度很低，口径大，这是我的经验。大家谈谈吧。

作者: qjy 时间: 2010-12-23 18:14
是的，单纯的挡板不能解决像半球状镜片的膜厚均匀性，行星夹具也同样不行，要在这样的镜片上做好均匀性必须要同时使用用行星夹具和挡板。

作者: 苏州膜头 时间: 2010-12-24 18:49
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完全同意，就是我的心里话

作者: coaterxf 时间: 2011-1-19 09:51
本质是蒸汽入射角的问题。行星夹具有一定的优势。LZ的产品很大，膜微观结构也特殊。都是盲人摸象罢了。

作者: dreamingwill 时间: 2011-1-21 13:22
楼上的回复讲到了点子上，我做的产品跟普通的光学镀膜不一样，需要摸索。

作者: 苏州膜头 时间: 2011-1-21 18:23
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可以上个图片吗？让咋开开眼？？

作者: gb936 时间: 2011-1-22 09:31
本帖最后由 gb936 于 2011-1-22 10:16 编辑

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430mm*430mm平板，镀600μmCsI

作者: 苏州膜头 时间: 2011-1-22 19:07
什么宝贝啊？显示器还是什么？？？

作者: gb936 时间: 2011-1-24 00:34
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X射线成像板

作者: mangovc 时间: 2011-1-24 11:22
600UM,而且这么大块只能用溅射设备镀了啊

作者: coaterxf 时间: 2011-1-25 09:25
sputter不行，一是靶材难制作。二是CsI熔点低，不适合sputter。三是溅射的真空度太差。
电子枪可能会有电子散射的问题。
普通的电阻即使步进补料也困难，会烧断的。

作者: jinfeng 时间: 2011-2-17 14:00
关注中！！！

作者: sery1234 时间: 2011-2-18 13:00
好贴，好在于一句井底之蛙，让大家争论起来才看到真理，说实话，这个帖子我来后最喜欢的一个，不过在这方面实在是孤陋寡闻，只能看各位讨论，长长见识，特表歉意。

作者: sery1234 时间: 2011-2-18 13:07
对了，你需要的这种类似的设备上海技术所的镀膜部好象有一台，空间很大，是做大型平板玻璃的，里面也装了类似的行星系统。具体机器我没去看过，问问见过的同行，可能能给你一些帮助！

作者: dreamingwill 时间: 2011-2-18 16:18
谢谢各位的关注，相关的设备供应商已找到。

作者: xcy1075 时间: 2011-2-18 16:22
主要是看你想要什么的镀膜机你可以和国内厂家定做有什么样的要求都可以国内好多机子都可以行星好用过了就知道好呵呵韩国机也有这类机子，北仪现在不生产了他们也有，只要去定做想要什么不都是能达得到的

作者: xml1227552 时间: 2011-4-10 08:48
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ding

作者: qjy 时间: 2011-4-11 14:28
这东西说起来也不算大，不是非要用行星夹具的。如果是球面或是类似球面的那就要用行星夹具了。有个哥们儿在兰物所用我的方法做直径2000多的都没问题，你这400多的算个啥

作者: 木口 时间: 2011-4-11 16:24
韩一的我使用的蛮好的啊！

作者: bomolaonan 时间: 2011-4-11 17:02
楼上的qjy果然很强大，佩服佩服

作者: 宇宙深处 时间: 2011-4-12 09:52
关于均匀性的论述楼上都有讲的差不多了,我很是受用。
我们之所以要在均匀性上下功夫主要是因为追求高产量下膜质均一性，要做到均一就要了解哪些因素导致了不均一，我们来分析一下：1、蒸发源离基板的距离；2、抽气气流的速率与方向；3、材料蒸发速率（即飞向基板的动能）；4、蒸汽入射角的差异（非平面基板，或蒸发源位置偏离圆心）；5、起始真空度；6、还有些其它的因素(如磁场的分布、腔体温度的均匀性、偏压大小、镀膜机的构造等等。）要做到膜质均匀其实是一件不容易的事需要调整好各个变量的关系。设计出好的工模夹具，才能做出更有竞争力的产品，这是是我们镀膜人的责任,大家加油。

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