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标题: 极紫外光刻的投影系统～～4反境or5反境系统～～请教！ [打印本页]

作者: windeyes 时间: 2003-5-19 20:14
标题: 极紫外光刻的投影系统～～4反境or5反境系统～～请教！

有人做极紫外光刻（EUVL）吗？
我想问问它的投影系统的设计，特别是关于4反境or5反境系统的光学设计问题，
例如美国EUV LLC的ETS机器的一些性能，有具体数据最好：）
呵呵，如果是3反或者是2反就不必拉。。。。。

作者: windeyes 时间: 2003-5-20 16:49
标题: 极紫外光刻的投影系统～～4反境or5反境系统～～请教！

不会没人知道把～～～很急阿

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