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标题: 镀膜基片有麻点，怎么解决 [打印本页]

作者: xiaojiang007 时间: 2010-12-21 20:46
标题: 镀膜基片有麻点，怎么解决
有麻点什么原因怎么解决

作者: mangovc 时间: 2010-12-22 09:55
你这样问实在太笼统了，点子种类大致有以下几种：基片抛光留下的电子，镀膜时膜料的喷溅点，离子源打火的点子，真空室漂浮的灰尘点，自己想办法去排查吧。

作者: JZNT 时间: 2010-12-22 16:45
你是基片上面有点子还是镀膜后上面有点子呀？

作者: xiaojiang007 时间: 2010-12-23 19:44
镀膜后发现的点子还蛮多的是不是镀膜速度快了 ?

作者: yangdaoqi 时间: 2010-12-28 16:35
你应该说的具体一点，用什么膜料镀什么膜？什么机器？是MS还是EB

作者: JZNT 时间: 2010-12-29 11:18
要看是什么材料，是溅射还是蒸发。

作者: jasmine131415 时间: 2010-12-29 12:18
镀膜基片有问题了是不是镀膜晶振片出问题了？

作者: 薛杰 时间: 2011-1-7 21:30

哪去抛光吧

作者: xiaojiang007 时间: 2011-1-12 12:47
是采用蒸发药材是氟化钇怎么控制让基片不产生麻点

作者: wlinliu 时间: 2011-1-30 04:28
1.你需要保证基片干净无尘
2.将放气伐的放气速度减小
3.查看ION功率是否太大,在不影响工艺条件的情况下,减小ION功率
4.作业区域洁净度要有保证
5.镀膜室的洁净度是否达标,挡板或其他污染源是否需要更换
6.若是突然变化,镀膜数率是否有异常
7.请及时清洁离子源(ION)各部件
以上问题解决的话,我估计基本可以解决麻点问题,特别请注意第2和第7条.
谢谢关注!

作者: xiaojiang007 时间: 2011-2-11 22:08
谢谢

作者: xcy1075 时间: 2011-2-13 21:07
蒸发速率慢一点,膜料要先熔透和熔好了在镀

作者: xiaojiang007 时间: 2011-2-13 21:57
谢谢啊！

作者: JINFENG215107 时间: 2011-3-12 23:02
速率不能太快，看材料而定

作者: laoxianccc 时间: 2013-4-26 15:53

作者: 飛兲寶赑 时间: 2013-5-5 09:02
IB问题

作者: LOUYC 时间: 2013-7-20 16:43
学习了

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