光电工程师社区

标题: PMMA镀AR膜 [打印本页]

作者: martin1980 时间: 2010-12-28 15:50
标题: PMMA镀AR膜
现在做个在PMMA上镀AR膜的产品，做4层膜后膜裂的很厉害，有没有能给分析下的，谢谢了。加温70度，加不加离子源都裂。

作者: dinghaiyi 时间: 2010-12-28 16:52
PMMA热涨冷缩造成的。降低沉积速率，中间停顿几分钟，不连续蒸镀，便于散热。

作者: z1206l 时间: 2010-12-28 20:59
用的什么膜料？

作者: legendlyy 时间: 2010-12-29 08:45
不可加温！！！

作者: stevenwu 时间: 2010-12-29 09:09
成都奥晶做得很好的，可以向他们请教试试。

作者: martin1980 时间: 2010-12-29 09:24
用的是TIO2和SIO2材料，谢谢了。

作者: jasmine131415 时间: 2010-12-29 12:24
好多镀膜的呀！！镀膜晶振片你们应该用得到的吧？？

作者: marcsle 时间: 2010-12-29 15:04
应力太大了，速率降低

作者: jindebo1981 时间: 2010-12-31 20:29
基底烘烤50度1小时，退火处理，然后蒸镀不加温，试试。

作者: sky4198 时间: 2011-1-2 14:43
真空度多少？

作者: john03062003 时间: 2011-1-4 13:47
是镀膜完成之后环测之前就发现的膜裂还是环测结束之后发现的膜裂？产品什么形状？曲率如何？我还没有碰到过这种现象，只是附着力有时出现问题！

作者: john03062003 时间: 2011-1-10 08:16
真空室外的温度是多少？如果是23+/-5度的话，建议采用冷镀，不需要加热，直接采用离子源辅镀就好了，我觉得这样子就能有所改善。你试试看！

作者: a1100801 时间: 2011-1-10 23:49
基材先烘烤1小時
用30度去做離子助鍍

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-3-20 01:08
我们也是做这个的
学习了

作者: sery1234 时间: 2011-3-21 10:41
没做过这种产品，学习下。

作者: 木口 时间: 2011-3-21 12:44
直接采用离子源辅镀，速率降低
镀膜后50°保温10分钟

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-4-2 23:21
回复 john03062003 的帖子

你好，请教一下，膜裂和附着力的区别是什么呢，我前天做了一次实验，没有加温就在玻璃上镀了300nm的SIO2，结果用手轻轻一划膜就掉了，这是膜裂吗？

作者: ghtzna 时间: 2011-4-4 00:51
清洗不，还有你的靶材是什么？膜结构？镀膜是真空度，这和膜层的应力有很大关系
先尝试烘烤后用SIO打底吧

作者: john03062003 时间: 2011-4-7 12:34
没有加温就镀sio2附着力比较难以保证，另外即使加温了，在玻璃上直接镀SIO2也很难保证。需要打底层做连接层！

作者: xiao2011 时间: 2011-6-3 18:51
我们也有这种问题

作者: xiao2011 时间: 2011-6-3 18:53
试了很多方法都不行，我们的膜还不固

作者: fql3310 时间: 2011-6-3 22:13
有意思，我QQ123831403，我们聊聊！

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-10-16 21:19
现在再次看看，又有别样体会

作者: haitao1573 时间: 2011-10-27 23:39

john03062003 发表于 2011-4-7 12:34
没有加温就镀sio2附着力比较难以保证，另外即使加温了，在玻璃上直接镀SIO2也很难保证。需要打底层做连接层 ...

用什么做连接层来打底呢？我们一般都用SIO2做打底啊，

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-10-27 23:59

haitao1573 发表于 2011-10-27 23:39
用什么做连接层来打底呢？我们一般都用SIO2做打底啊，

有离子源辅助哪个打底应该都可以吧，我们都做过，现在主要是TIO2直接镀的是打底层

作者: huang12949 时间: 2011-10-28 09:12

缘睐汝痴发表于 2011-4-2 23:21
回复 john03062003 的帖子

你好，请教一下，膜裂和附着力的区别是什么呢，我前天做了一次实验，没有加温就 ...

你这叫膜弱

作者: huang12949 时间: 2011-10-28 09:15
本帖最后由 huang12949 于 2011-10-28 09:19 编辑

第一个，冷镀，不要加热；第二个，如果是基底形状偏小偏薄，镀完真空室温度超过60度（你这加热的已经70度了），镀完冷却几分钟后破真空。第三个，你说到怎么做还是不牢固，塑料镜镀膜尽量是一出啤机就进镀膜室，如果确实需要放置一段时间才镀的过来，你用SIO2打底，2个波长的厚度哦。

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-10-31 10:21

huang12949 发表于 2011-10-28 09:15
第一个，冷镀，不要加热；第二个，如果是基底形状偏小偏薄，镀完真空室温度超过60度（你这加热的已经70度了 ...

知道了，谢谢

作者: xiao2011 时间: 2011-11-2 17:05

作者: xiao2011 时间: 2011-11-28 13:22

作者: xiao2011 时间: 2012-2-15 02:19
应该和材质有关

作者: zouyou828459 时间: 2012-3-26 22:26

作者: xianlingyue 时间: 2012-5-18 23:33

作者: 霹靂貓 时间: 2012-12-24 10:02
學習~

作者: snebur 时间: 2012-12-24 12:07
是不是在长三角的工厂，可以帮您做做

作者: 霹靂貓 时间: 2013-1-12 15:04

作者: 魅力薄膜 时间: 2013-7-20 18:11
我类个擦擦他妈妈的度塑料比玻璃烦啊

作者: 1245697925 时间: 2013-7-20 21:00
产品镀前放烤箱加温30-50度30-60分钟在放入机台镀前预轰1-3分钟至全程轰击用SIO2打底 LHLHL

作者: ouyuu 时间: 2013-7-20 23:16
烘烤问题，PMMA镀膜之前需要烘烤，否则材料里的水会对膜产生影响。

作者: crl0129 时间: 2013-12-8 16:28
有可能你温度太高了，加热温度不要操过50度！

作者: royyang 时间: 2013-12-9 23:59
镀膜中温度过高

作者: jerrygmj 时间: 2013-12-10 09:24

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