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标题: 光学元件表面铜膜如何去除 [打印本页]

作者: freel 时间: 2011-1-5 19:01
标题: 光学元件表面铜膜如何去除
去除后不能产生表面应力，同时保持原有的粗糙度，大概1nm，机械方法可能会产生应力，化学方法可能会降低粗糙度。
大家有什么好的方法吗？

作者: yang0593 时间: 2011-1-5 19:51
用阻尼布抛光皮盘，加上进口多晶体钻石粉W0.25的抛光就可出掉，而且不会破坏光洁度和平面度，

作者: gangyixu 时间: 2011-1-6 08:21
什么元件呢？如果是稳定性好的玻璃元件，腐蚀铜的一些化学品不一定会破坏玻璃啊？！

作者: freel 时间: 2011-1-6 11:45
基底是单晶硅。
yang0593 提的方法不会产生表面应力吗？

作者: maofa168 时间: 2011-5-27 01:41
用脱膜砂轮

作者: wangjianheng1 时间: 2011-5-27 11:37
脱膜剂

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