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标题: 关于铝无法蒸发的问题 [打印本页]

作者: xiaojiang007 时间: 2011-2-13 21:48
标题: 关于铝无法蒸发的问题
如题所说, 镀制铝膜,但是电子枪无法蒸发,怎么办,束流已接近600mA, 是什么原因造成望高手解答感谢

作者: qjy 时间: 2011-2-14 09:19
楼主肯定是用铜坩埚了，这样你能蒸出来就奇怪了。即便楼主没有一点镀膜的常识，难道不能翻一下相关资料看一下

作者: xiaojiang007 时间: 2011-2-14 18:36
我以前还真用铜的蒸发了的!那是刚买回机器的时候,现在不知道是不是因为枪老化的原因?

作者: qjy 时间: 2011-2-15 11:08
真是佩服楼主呀！难道你就真的连翻一下相关资料都懒得干吗？谁教的你用铜坩埚蒸铝的？拿低蒸发温度的坩埚蒸发高蒸发温度的材料，白痴呀！再说了，铜锅导热散热那么好，你要用多大的功率才能达到铝的蒸发温度呀？即便你硬是达到了，连坩埚也一起蒸了！

作者: wlinliu 时间: 2011-2-20 03:58
600mA,我的个乖乖,你这是在报废设备啊,还用铜坩埚,铜那么好的导热性你还镀Al,你没摸摸那冷却水烫手不

作者: lkwxp 时间: 2011-2-20 14:29
一般用钨丝加热蒸发。具体的你可一到网上查一下。

作者: shuangzixing 时间: 2011-2-20 19:56
你可以用石墨坩埚做。不错的你试试。我QQ562631043

作者: qjy 时间: 2011-2-20 20:48
楼主就是个白痴加疯子！

作者: kpliu 时间: 2011-2-23 16:30
我实验室专业从事各种镀膜、曝光、刻蚀研究，可附带从事加工服务。

镀膜厚度15纳米~1000纳米，同时可进行膜层厚度测试；其中磁控溅射材料可以为Cr、Ag、Al、Al2O3、ZnO、SiO2、Si、Si3N4，电子束蒸镀可以为Ag、Au、Al、Cr。

刻蚀有RIE和IBE，刻蚀厚度为20纳米~5微米。

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作者: xuyi198047 时间: 2011-4-7 20:21
看不懂的，我也不知道

作者: yong0009 时间: 2011-4-22 14:47
哈哈哈

作者: jionboy 时间: 2011-4-22 18:00
镀铝还是用钨丝比较好

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