光电工程师社区

标题: 关于铝蒸发的问题请高手指教 [打印本页]

作者: ftz1981 时间: 2011-2-15 11:18
标题: 关于铝蒸发的问题请高手指教
各位老大请指教电子枪镀铝应该用什么样的坩埚啊

作者: xcy1075 时间: 2011-2-15 12:59
AL2O3和镍和.铬

作者: legendlyy 时间: 2011-2-15 21:31
阻蒸！

作者: ftz1981 时间: 2011-2-16 21:56
如果用电子枪镀的话用什么材质的坩埚啊

作者: qjy 时间: 2011-2-17 11:19
l楼主真是懒的够可以的了，这么简单的事情非要在网上三番五次的问，有这时间资料翻几百遍了。

作者: ftz1981 时间: 2011-2-18 10:56
楼上老兄见笑了没找到资料啊望不吝赐教

作者: ftz1981 时间: 2011-2-23 11:01
回复 qjy 的帖子

这位大侠你好在下真的没有找到这方面的资料还请您赐教或者能否提供一下这方面的资料不胜感激

作者: kpliu 时间: 2011-2-23 15:54
我实验室专业从事各种镀膜、曝光、刻蚀研究，可附带从事加工服务。

镀膜厚度15纳米~1000纳米，同时可进行膜层厚度测试；其中磁控溅射材料可以为Cr、Ag、Al、Al2O3、ZnO、SiO2、Si、Si3N4，电子束蒸镀可以为Ag、Au、Al、Cr。

刻蚀有RIE和IBE，刻蚀厚度为20纳米~5微米。

有需要的可以联系，可根据客户要求加工。

欢迎来电咨询！

联系电话：

15108299816赵工邮箱：zyy44138172@126.com

作者: ftz1981 时间: 2011-3-7 11:04
真的没有高手愿意赐教吗拜求

作者: ftz1981 时间: 2011-3-8 10:02
还请指教

作者: carpty 时间: 2011-3-8 15:59
你用石墨坩埚，自己做一个小点的可以放在铜坩埚里面

作者: ftz1981 时间: 2011-3-10 09:12
回复 carpty 的帖子

谢谢楼上的老兄不吝赐教有机会请你吃饭不知道你的QQ 是多少啊我的是 1242290859 希望和你成为朋友

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-10 15:58
可以用石墨坩埚蒸发很快但是石墨的话不耐用感觉很多人说铜的蒸发不了但是我用的很好可以顺利蒸发楼主试试看

作者: ds1234567 时间: 2011-3-11 08:16
铝不是难溶的，是最好蒸发的，阻蒸即可，犯不着用电子枪打，用电子枪打有违常识。

作者: JINFENG215107 时间: 2011-3-12 22:46
镀金属材料我们用石墨的比较多，还可以。

作者: fql3310 时间: 2011-3-13 21:52
石墨坩埚，上面再放块钼片做的坩埚。一个钼片一般可以做两炉。也可以把铝直接放在石墨上的。我觉得这样不是很好。

作者: ftz1981 时间: 2011-3-16 22:01
多谢各位达人的指点还有没有其他的经验可以借鉴望赐教

作者: xiao2011 时间: 2011-6-3 19:05
我还没用过，不好意思

作者: jxsp 时间: 2011-6-4 08:30
应用氮化硼

作者: yong0009 时间: 2011-6-4 14:02

作者: chengqinshun 时间: 2011-6-5 22:09

legendlyy 发表于 2011-2-15 21:31
阻蒸！

钼舟也行

作者: ftz1981 时间: 2011-9-12 08:33
还有没有高手愿意赐教啊或者说大家一起讨论一下？

作者: ftz1981 时间: 2012-3-10 21:14
沉了顶起来希望大家能够踊跃讨论啊

作者: ftz1981 时间: 2012-3-10 21:16

fql3310 发表于 2011-3-13 21:52
石墨坩埚，上面再放块钼片做的坩埚。一个钼片一般可以做两炉。也可以把铝直接放在石墨上的。我觉得这样不是 ...

老兄请问你手头与没有石墨啊匀我一点做干锅用的价钱你定找不到啊

作者: ftz1981 时间: 2012-3-10 21:18

carpty 发表于 2011-3-8 15:59
你用石墨坩埚，自己做一个小点的可以放在铜坩埚里面

大侠不知道你手上有没有可以做干锅用的石墨匀我一点啊做干锅用我手头没有啊价钱你定

作者: ftz1981 时间: 2012-3-10 21:21

JINFENG215107 发表于 2011-3-12 22:46
镀金属材料我们用石墨的比较多，还可以。

请问这位大侠能不能帮我搞一块做干锅用的石墨啊直径40*100就够用了或者说能不能办我搞到成品也行总之是着急啊找不到料

作者: gxfdllg 时间: 2012-3-16 12:26
石墨坩埚就可以了！

作者: ftz1981 时间: 2012-3-17 08:16

gxfdllg 发表于 2012-3-16 12:26
石墨坩埚就可以了！

这位老兄能不能帮我搞到一块石墨啊我愿以适当付费也行

作者: gxfdllg 时间: 2012-3-17 12:50
无氧铜坩埚也可以啊！！！！

作者: xiaohuilee 时间: 2012-3-17 22:03
镀铝的时候不要用坩埚用电阻蒸发
我们公司以前用过氧化铝坩埚可是只能蒸镀一次就不能用了慎重考虑

作者: ftz1981 时间: 2012-3-23 07:37

gxfdllg 发表于 2012-3-17 12:50
无氧铜坩埚也可以啊！！！！

无氧铜的不行我试过的蒸发不了你手头有石墨棒吗卖我一点

作者: gxfdllg 时间: 2012-3-23 19:01
没有啊

不好意思

作者: ghtzna 时间: 2012-3-24 10:04
乌坩埚应该可以吧

作者: hzkd 时间: 2012-3-24 15:26
把你的坩埚尺寸提供给大家一下，这样大家才好帮你啊！

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