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标题: 关于1064增透膜的透过率问题 [打印本页]

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-2 19:33
标题: 关于1064增透膜的透过率问题
如题中所说我现在遇到个很棘手的问题就是1064nm增透膜的透过率总是提高不了，换过材料，已排除不是材料的原因，目前有两点原因我说说看大家是否有其他的见解，首先是我的手法控制问题，蒸发速度太慢，我发现在极值点附近膜厚仪数值调动很剧烈，跳动时间过长，我在想是否对于膜厚的监控有不利影响，在则就是膜厚仪的问题我采用的是光控法监控，当我想调到固定值100，无法稳定，总是数值上下串动，而且数字跳动幅度很大，因为我采用的4分之1的极值法来监控膜厚，所以在到达极值点时，有与跳动的原因，我很难判断极点，对于膜厚的有很大的影响，造成很大的误差，在此希望大家给予帮助解答如可以的话我将电话公布与此期待细谈 13871320142 小江

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-2 19:41
也附上我的qq:362991533

作者: 苏州膜头 时间: 2011-3-3 08:04
兄弟，控制片看看是不是在震动，工转看看是不是抖动的厉害，要不就把光路重新调调。

作者: shuangzixing 时间: 2011-3-3 09:28
老兄，如有大量的活发我做做。我们一直在做此膜。我们是用晶控的。谢谢.QQ：562631043

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-3 12:04
你用晶控的话效果如何比较好控制吧！还希望论坛的高手帮忙解决

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-3 12:05
光路的话具体是那方面的问题呢

作者: ftz1981 时间: 2011-3-3 15:46
光源是否有跳动比较片在工件转动的时候是否跳动检查一下膜厚仪看看他是不是有问题以前我也出现过类似问题最终结果是膜厚仪的问题到沈阳把膜厚仪修理了一下就好了

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-3 19:49
比较片应该是没有跳动的，我现在怀疑是光路的问题但不知道是那个部分出的问题？

作者: 苏州膜头 时间: 2011-3-4 07:42
看看灯脚，仔细打磨消除接触电阻，这个很重要的，很多光路就是这个问题。

作者: sery1234 时间: 2011-3-4 08:30
打我电话，给我说说实际情况，帮你分析分析，这方面的经验应该还算可以。15060405498

作者: sery1234 时间: 2011-3-4 08:36
听你的描述，你现在用的这种光控还是全手动控制的机器？这样的话结构不会太复杂，就是
光源-光调制-光路-光纤传输-光电管放大信号，到仪器里面转化成电信号！从头开始查起！

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-4 19:34
谢谢啊苏州膜头和 sery1234 说的那个看看灯脚，仔细打磨消除接触电阻不是很明白详细点可以吗

作者: 苏州膜头 时间: 2011-3-5 20:42
兄弟啊，光源灯泡温度较高所以灯脚和电线连接的地方容易氧化，产生接触电阻。灯泡就会闪，膜厚仪就会没有规律的跳动，你就看不到极值点了。严重时戴个太阳镜看看灯丝就能发现的。如果不停地跳动那可能是主信号和参考信号不同步，调电位器，仔细调整光路。
呵呵，买个晶控吧，省心，重复性好。与时俱进吧

作者: wazxq 时间: 2011-3-6 15:43
作这个可以用过极值，就避免了拐头地方的跳动

作者: wazxq 时间: 2011-3-6 15:46
另外如果主要产品就是1064这个AR，要考虑更换光控的部件了。一般的国产光控这个波长信号弱

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-9 21:01
那个电位器是在什么地方呢还有光路的调整从什么地方着手调整呢

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-9 21:09
对了用什么打磨呢

作者: 苏州膜头 时间: 2011-3-10 07:49
电位器当然在膜控仪上了，上下同步电位器，10年前的膜控仪可能没有的。
光路调到能量最强。
打磨用砂纸
楼主是新手吧。

作者: sery1234 时间: 2011-3-10 14:59
膜头说的光路调到最强，最简单的方法就是用眼睛看，具体方法就是把你的接收光的光纤头拿掉，调节到那里出来的光最强，当然，如果你连光纤都没有的话，那信号的抖动是必然的了饿，还有如果你有示波器的话，看看你的主信号，和解调信号，也是是参考信号等波形是不是正常。

作者: john03062003 时间: 2011-3-10 17:34
除了楼上所说的之外，还有一个问题，你用的是不是GMHK系列的光学膜厚控制仪，数据跳动大也有可能出现这个问题，不只是在调整初始设定值的时候出现，在蒸发沉积的过程中也会发现数值会产生比较剧烈的上下抖动。这个好调整，需要调整满偏和零点，你看看说明书，我有调过，如果一开始装机的时候没有这个问题，现在出现了，有可能是人为调整过，调过来应该就能解决了。

作者: john03062003 时间: 2011-3-10 17:40
另外，其实这与1064nm的透过率没有什么直接的影响，如果透过率的最高点在1064之前或者之后，那是因为你的设备TOOLING值没有抓取好，相比楼主也是做激光薄膜的吧？在这个波段常用的材料吸收是很小的哦，关键是你在做单点增透还是二倍频或者三倍频。要是单点好解决，要是后两者的话可能要在膜系设计的阶段去考虑。

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-11 21:50
单点增透啊！还有，需要调整满偏和零点怎么调节啊

作者: sery1234 时间: 2011-3-12 12:51
兄弟啊，要努力了啊，这可是很简单的哦，这个都还搞不定的话------

作者: fql3310 时间: 2011-3-13 22:06
哈，有意思！

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-3-13 23:17
学习学习，增加经验

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-15 16:46
设备TOOLING值?是什么啊

作者: sery1234 时间: 2011-3-16 10:11
tooling值，中文意思就是工具因子，就是你的控制的控制片上的膜层物理厚度和实际的产品的物理厚度的一个比值。

作者: sery1234 时间: 2011-3-16 10:16
如果是光控的，这个比值我们一般叫做比例系数，这个tooling是因为360的控制仪上人家是这么写的，所以就用他了，有的机器配有修正挡板，就是解决这个问题，一般的实际的产品都会厚，因为你的产品离你的蒸发源比控制片近，用修正挡板把多余的那部分挡掉后，让实际的产品和控制片相同，这样不管是设计膜系，还是工艺控制，都好做很多。

作者: sery1234 时间: 2011-3-16 10:18
以上我应该在你的空间里给你回复，免得各位大大看见了笑话。

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-18 21:39
那这个tooling值怎么运用具体怎么掌握这个值

作者: sery1234 时间: 2011-3-19 11:24
这个问题一句话，两句话也说不清楚了，先看看资料吧。镀个较厚一点的单层膜，根据极值点（膜比基底折射率高的看极小值，膜比基底折射率低的看极大值，并且选取长波段的极值点，因为在长波段折射率色散小）估算出膜层的折射率，该点的反射率，根据薄膜光学原理，相当于单个四分之一光学厚度的膜厚（单层四分之一光学厚度的薄膜等效折射率为n^2/ng,n为膜的折射率，ng为基底折射率)的反射率。算出折射率后，再判断极值级次，根据这个级次就可算出膜厚。现在举一例子加深理解。

图中基底折射率为1.52，该曲线的透过率极大值是空白玻璃的透过率，说明镀的膜没有起增透作用，判断膜的折射率应该大于基底的折射率，所以我们要选极小值点的反射率来分析薄膜的折射率（选极大值等于在分析空白玻璃，因为是偶数个四分之一膜厚，等同虚设层），为选色散小的区域，可以找到最长波段的极小值为1184nm，透过率为80.08%。设空白基底的单面透过率为T1，镀有膜层侧的单面透过率为T2，总和透过率，也就是所测透过率为T，则有关系式1/T=1/T1 + 1/T2 - 1(大家可以自己推算，就是简单的等比数列叠加，可先算出R1，R2和R的关系式　R＝(R1＋R2－2R1R2)/(1-R1R2),然后用1-Rx代替Tx），在这儿T1=95.742%, T=80.08%, T2为未知数，代入后得出T2＝83.037%，于是R2＝1－T2＝16.963%，R2＝(n^2/ng-1)^2 / (n^2/ng +1)^2 ，n=sqrt(ng*(1+sqrt(R2))/(1-sqrt(R2) )=1.910，这就是膜层的折射率
然后来算膜厚。首先判断透过率曲线的级次，在脑中要明确的是，当膜的折射率大于基底时，所有的极小值都是奇数个四分之一膜厚，当膜的折射率小于基底时，所有的极大值都是奇数个四分之一膜厚，根据前面分析，这儿当然是极小值啦。如果没有折射率色散，相邻两个极值之间　的波长位置的比值应为k/(k+1), k=1,3,5,7....(设第一个极值位置波长为λ1,相邻的另一个极值位置波长为λ2，这里假设λ2的级次高于λ1,所以λ1＞λ2，则kλ1/4=nd, (k+1)λ2/4=nd,两者比较后，就得出λ1/λ2=(k+1)/k )。我们来看891.0nm和1184nm这两个极值，1184/891=1.328，　所以判断k=3，于是根据kλ1/4=nd　有　d=kλ1/4n=3*1184/(4*1.91)=464.9nm。
说明：这种方法只是粗略地估计膜层的折射率和厚度，因为我们忽略了折射率的色散，也忽略了薄膜在沉积过程中的折射率非均匀性。要精确测量还是要通过带有修正因子的程序拟合，或且专门仪器测量。

作者: sery1234 时间: 2011-3-19 11:30
C:\Documents and Settings\Administrator\桌面\片段

作者: sery1234 时间: 2011-3-19 11:31
给我你的油箱，发点资料给你吧

作者: ftz1981 时间: 2011-3-19 22:51
回复 sery1234 的帖子

老兄我的邮箱是 ftz1981@126.com 也给我发点资料吧谢谢了

作者: sery1234 时间: 2011-3-20 23:34
回复 ftz1981 的帖子

想要什么样的资料

作者: 木口 时间: 2011-3-21 12:51

学习学习！
以前的光控没有使用过。。。

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-21 19:42
我的邮箱 362991533@qq.com

作者: ftz1981 时间: 2011-3-21 21:37
回复 sery1234 的帖子

有关膜系设计的或者是 tfc软件的设计实例或中文使用说明感觉您是行业里的高手前辈谢谢了

作者: 木口 时间: 2011-3-23 19:30

作者: th7729 时间: 2011-3-25 10:39
sery1234 ，你好，想请教您一个问题，膜层的牢固度和抗损伤阈值，是那些因素在影响的啊，谢谢

作者: sery1234 时间: 2011-3-25 11:06
回复 th7729 的帖子

呵呵，不敢，共同提高，膜层的牢固度这个问题，我大概谈下我自己的看法，首先，牢固度，换个说法，应该就是膜层结合力的问题，这应该和下面的因素有关。
1基材和膜料之间是否匹配，特别是第一层先镀什么膜。
2镀膜温度。这又分金属膜和氧化物膜，一般来说，温度主要是消除膜层之间的应力问题，合适的镀膜温度可减小压力。
另外对于玻璃这类的材料，高温可以去掉表面的一些附着物。
3镀膜离子能量，离子能量越高，迁移能力及反蒸发能力就强，膜层会致密，就拿镀膜的常见方式来说，蒸发镀膜才零点几电子伏特，而溅射镀膜有几个电子伏特，如果是离子镀，可以达到几十。
其他的大家在补充下了，

作者: sery1234 时间: 2011-3-25 11:09
至于损伤值的这个问题，也镀过一些激光膜，但是理解太简单，不好多说什么，注意选用的膜料，还有不要有太多的镀膜缺陷吧

作者: th7729 时间: 2011-3-25 11:18
回复 sery1234 的帖子

谢谢您的指导，我这边是在晶体表面镀膜，镀1064nm（R%<0.2%）的单点增透。
基质是DKDP晶体，这种晶体的莫氏硬度只有2~3之间，比较脆，而且它容易潮解，不能使用常规的擦拭手法（使用脱脂棉蘸酒精乙醚擦拭）进行处理，会损伤表面。
而且这种晶体在150℃左右就会发生相变（晶体结构发生变化），所以感觉平时的方法听误解的，不知道您有什么建议，谢谢

作者: sery1234 时间: 2011-3-25 12:13
回复 th7729 的帖子

我知道了，我也在做类似的产品，。这类的产品一般只能冷镀，这样的话，首先要保证光学指标，其次用吸收小点的材料，不要用ti3o5这样的吸收较大的材料，用ta2o5之类的。这样的话一定要加离子源，。否则很容易出现你说的情况。

作者: th7729 时间: 2011-3-28 11:49
回复 sery1234 的帖子

您好，前两天出去干活，一直没上线，不好意思了~
      您说的关于膜料的的问题我们也考虑到了，Ta2O5的我们也在用。不过您说的光学指标指的是：剩余反射值还是基片的光洁度方面的，或者是其他指标。
      如果是基片的光洁度的话，现在我们的处理手段基本已经是极限了，不能做到和K9之类的光学材料做的器件那种光洁度，条件所限啊，擦拭处理是没办法的。
      对了，您现在做的是什么材料的，效果怎么样啊，方便的话就聊聊，呵呵

作者: sery1234 时间: 2011-3-28 12:11
回复 th7729 的帖子

光学损耗，主要和光谱的指标有关，只要你镀膜的光谱曲线达到指标的话就可以了

作者: sery1234 时间: 2011-3-28 12:13
指标达到如果损耗还高的话，就要考虑你材料的损耗值了

作者: 龙之传人 时间: 2011-4-4 22:59
原来是镀膜高手

作者: ranguangpu 时间: 2011-4-8 20:02
回复 sery1234 的帖子

老兄，我看你有很高的境界啊，能给我说说计算材料折射率的具体方法吗？或给我发个关于这方面的书籍也好，谢谢！
ranguangpu@163.com

作者: mxbplayboy 时间: 2011-4-8 20:12
学习中

作者: HGcoating 时间: 2011-5-23 14:23
这是最基本的膜了，楼主要多多学习了。设备不好用晶振控制也不错

作者: xcy1075 时间: 2011-5-24 08:03
灯脚的位置应该是在真空室内底盘那里不是有一个圆洞出来一束光，入射到顶上基片K9去？
灯脚就在那真空室下面电子枪电压那上面？仔细打磨消除接触电阻，就是灯脚和插座接触的两根脚，
不知道有没有说错，很早接触到光控，最近几年根本都没有用了，所以也不是很清楚，如果有错请大家指出来呵呵

大家一起学习学习

作者: xcy1075 时间: 2011-5-24 08:04

作者: xcy1075 时间: 2011-5-24 08:08

钱包

作者: ferry 时间: 2011-5-25 11:19

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-8-31 16:43

sery1234 发表于 2011-3-19 11:31
给我你的油箱，发点资料给你吧

当时的资料还有吗？我也要啊。学习了很多啦，我正好在找光学测厚仪的知识呢。我的信箱241576438@qq.com，谢谢啦。

作者: xiao2011 时间: 2011-8-31 22:46

作者: HGcoating 时间: 2011-9-1 11:06
小江是哪里的，武汉的吗？以前看过你发的贴。这么简单的膜啊。努力。。。

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-9-3 20:13

sery1234 发表于 2011-3-4 08:30
打我电话，给我说说实际情况，帮你分析分析，这方面的经验应该还算可以。15060405498

顾大哥，给我点光控的资料嘛，很想学习光控，我一直有再看相关的资料，可是都讲得很浅

作者: sery1234 时间: 2011-9-5 14:43

缘睐汝痴发表于 2011-9-3 20:13
顾大哥，给我点光控的资料嘛，很想学习光控，我一直有再看相关的资料，可是都讲得很浅

光控的理论资料自己整理的没有，收藏的话，我找找看，

作者: sery1234 时间: 2011-9-5 14:44
光控的设备，特别是手动控制的，理论作用有限啊，实际经验太重要了

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-9-5 20:11

sery1234 发表于 2011-9-5 14:43
光控的理论资料自己整理的没有，收藏的话，我找找看，

恩，真的是实践太重要了

作者: xiaojiang007 时间: 2011-9-8 18:31

sery1234 发表于 2011-9-5 14:44
光控的设备，特别是手动控制的，理论作用有限啊，实际经验太重要了

呵呵真的吗？主要是光控对于操作的手法很依赖

作者: gaosheng123 时间: 2011-10-13 12:01
供应:日本大金蒸镀膜片、韩国ECKO镀膜片.希望有机会合作,共创双赢，多谢! 13922125860 ,QQ:598362644,E-mail:laiqiangping2010@163.com

作者: ipshjh2005 时间: 2012-1-2 20:23

作者: ipshjh2005 时间: 2012-1-2 20:33

作者: wdydede 时间: 2012-5-27 02:09

作者: wdydede 时间: 2012-5-28 23:34
如果只镀单层MgF2，可以用532nm做监控波长，镀一个1/2波长，也就是一个来回，这样精度会高一点：这是因为一是532nm处光探测器的响应比较高，信号强，二是可把仪器误差减少一半，

作者: shangdong123 时间: 2012-6-29 15:15
比较片应该是没有跳动的，我现在怀疑是光路的问题但不知道是那个部分出的问题？

作者: yibi11 时间: 2012-7-6 12:42
想问一句，过了这么久，楼主的问题解决了没有？顺便想问一句，楼主的基底是什么，用的镀膜材料又是什么？

作者: 纳米先生 时间: 2013-1-9 16:25

作者: 日晒 时间: 2013-3-27 11:54
谁能给我些光学设计的理论资料，包括魔料的参数，我是新手

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