这是用来测量光纤端面的专用装置，不过可以参考，作者: insureamd 时间: 2003-8-14 17:51 标题: 请教：直径很小的金属曲面如何检测形状 我还有个问题想请教，那就是如果待测物体是半球状，那么如果是一束平行光照射上去，由于是镜面反射，那么在接收光的地方就会有很多地方没有光，这样也就看不到干涉现象，请问这个问题是如何解决的，是从光源角度还是从接收光的角度？
多谢！作者: fay 时间: 2003-8-14 20:13 标题: 请教：直径很小的金属曲面如何检测形状 Do you try to measure the profile of BGA? if so, there are some instrument in market for this purpose. 作者: 无痕 时间: 2003-8-14 20:20 标题: 请教：直径很小的金属曲面如何检测形状 有很多商业的仪器测量面形的.主要取决与你测量的精度,以及本身表面的粗糙度.作者: 土豆 时间: 2003-8-14 20:41 标题: 请教：直径很小的金属曲面如何检测形状 如果是用迈克尔逊干涉法，就有两个反射镜，
如果一个是平面反射镜，另一个是半球面反射镜，
由于两个像无法重合，可能就看不到干涉环了，
不过如果两个都用半球面反射射镜或许还是可以看到干涉环的？
要试试了，但是两个半球的半径要一样才行，
比如一个用比较标准的半球，另一个是待测的半球，
当然还要尽量保证两个半球的反射光强度基本一样才好，