光电工程师社区

标题: 关于一氧化硅的问题,请指教! [打印本页]

作者: holdout@163    时间: 2011-3-7 10:30
标题: 关于一氧化硅的问题,请指教!
本人在北仪生产的450A镀膜机上用钼舟的蒸发方式镀一氧化硅,1500的高压加到250A尽然都融化不了?
难道的高压不够吗?还是和钼舟的大小有关系?
还有其他材料可以在不加热的情况下做铝的保护层吗?
请各位朋友指教!
作者: gb936    时间: 2011-3-7 10:41
SiO是升华。做Al外反膜成本最低
作者: holdout@163    时间: 2011-3-7 10:54
回复 gb936 的帖子

阻蒸可以蒸发吧,为什么化不了呢?
作者: ftz1981    时间: 2011-3-7 10:59
楼上的朋友 一氧化硅是升华不是蒸发 看不到液体的

作者: shuangzixing    时间: 2011-3-7 11:49
用电子枪。
作者: holdout@163    时间: 2011-3-7 12:30
回复 ftz1981 的帖子

您的意思是说,类似氧化镁一样吧
可是我也看不到材料变红或者变小的状态!
请指教!
作者: gb936    时间: 2011-3-7 15:52
蒸发:由固态 --液态---气态的过程。升华:由固态直接到气态的过程。
把大块料敲碎好镀一些,注意加热太快容易飞溅
作者: ftz1981    时间: 2011-3-8 09:59
一氧化硅 并不发红 而且看不到变小的现象 如果你非得要先看到蒸发状态的话  上膜厚控制仪就看到了  采用反射光控制 你就能发向有极值变化 说明在蒸发
作者: 缘睐汝痴    时间: 2011-3-22 00:42
呵呵
这个我做过
SIO是升华,电流太高会飞溅
作者: HGcoating    时间: 2011-4-15 15:38
有块状的SIO,可以试试
作者: HGcoating    时间: 2011-4-15 15:38
有块状的SIO,可以试试
作者: wlinliu    时间: 2011-4-15 20:32
氧化硅很容易氧化,保护不好就是二氧化硅了,呵呵




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