光电工程师社区

标题: 抽速慢什么原因 [打印本页]

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-9 21:24
标题: 抽速慢什么原因
最近发现低真空指示灯不亮在则到精抽的时候抽速慢怎么回事那个灯不亮有什么影响

作者: 苏州膜头 时间: 2011-3-10 07:53
可能是哪个灯本身坏了，换一个。
如果真的不亮了，你是开不了高阀的，不能精抽的。

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-10 15:43
精抽的时候抽速慢是不是要换油了一年不到

作者: wangxudong1227 时间: 2011-3-11 13:08
1、你可以检查下有么有漏气，微漏的那种。连接是否OK,腔门边缘密封条是否干净。密封条是最容易出漏气问题的地方，前提是其他都没有动过。
2、检查 POLYCOLD是否正常。
其他的还没遇到过。

作者: swanson 时间: 2011-3-11 14:36
会不会是基底放气太大。。。烤一下基片呢

作者: JZNT 时间: 2011-3-11 17:01
有微漏的可能性比较大，包括漏气还有水

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-11 21:24
其他的都没动过机器在抽高真空的我听到好像有嘶嘶的声音是不是漏气啊！望解答啊

作者: wlinliu 时间: 2011-3-12 09:33
高真空的时候真空度是否有反弹变化,如果反弹很大,就有漏了,用残余气体分析仪分析一下就知道了

作者: JINFENG215107 时间: 2011-3-12 22:34
会不会是机械泵或者真空泵的问题。

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-3-13 23:34
这些都有可能存在问题，学习了

作者: xcy1075 时间: 2011-3-16 10:28

作者: snscm 时间: 2011-3-16 13:45
回复 xiaojiang007 的帖子

应该是低真空指示灯泡坏了，换一个。
那个嘶嘶的声音是哪个部位发出来的？顺便给设备检下漏

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-16 19:41
具体是那也说吧上来就在高阀附近吧！但是真空度还是上的去只不过抽的很慢有少许真空度反弹的现象

作者: ysc212 时间: 2011-3-16 21:54
查：机械泵油、维持泵油及其极限真空；管道、密封口检漏（最可能出现的问题）；必要时清洗并更换扩散泵油（查扩散泵极限真空）；指示灯只是表象，不要被其迷惑。

作者: a234598463 时间: 2011-3-17 18:29
这种现象有三个问题，一是漏气，二是机器脏，三是扩散泵油烧了

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-18 21:57
机器脏也会造成抽苏慢吗

作者: JZNT 时间: 2011-3-19 15:35
机器内部脏会吸收空气中的水，影响抽速。

作者: xiaojiang007 时间: 2011-3-23 18:59
现在发现有真空度反弹的现象但过后又可以上升并且没有出现反弹的现象这个正常吗分析下

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-4-2 23:01
回复苏州膜头的帖子

膜头兄，你公司还招人吗
我也算是镀膜新人，去年3月进入这个行业的
我对镀膜很有热情，不知有没有机会
现在学的还可以，如果有机会，我一定加倍努力的

作者: fasces9 时间: 2011-7-30 16:53
你把楼上诸位大师的方法都试一遍应该就解决了

作者: E501559 时间: 2011-8-3 14:44
你低真空和精抽分别用的是什么泵抽的

作者: E501559 时间: 2011-9-13 17:24
原因多多啊，要么泵有问题，要么漏了

作者: gxfdllg 时间: 2012-3-16 13:40

作者: wdydede 时间: 2012-5-13 01:33

作者: xxwy 时间: 2012-5-13 21:35
老兄我估计漏气的可能性比较大哦

作者: 侠影无踪 时间: 2012-5-13 22:21
好好学习

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)