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标题: 蓝宝石衬底氮气退火的问题 [打印本页]

作者: Moonish_潇 时间: 2011-3-11 09:31
标题: 蓝宝石衬底氮气退火的问题
给蓝宝石衬底进行氮气退火之后，会在衬底片边缘形成一些点滴凝聚状的物质，附着在边缘，跪求大虾问题原因及解决办法！

作者: yingmuxiao 时间: 2011-3-11 09:31
可能是氮气退火炉里SiC棒在高温条件下挥发出的物质与Al2O3发生反应生成的，你给蓝宝石衬底退火时弄成密闭的隔掉挥发物，就应该没事了。

作者: Moonish_潇 时间: 2011-3-11 09:35
跪求解！！！

作者: Moonish_潇 时间: 2011-3-11 15:00
回复 yingmuxiao 的帖子

谢谢楼上，查了下资料，应该是这样的问题

作者: jdx1981 时间: 2011-3-11 15:30
学到了

作者: 金刚铁嘎嘎 时间: 2011-3-22 10:01
1111111111111

作者: 45° 时间: 2011-3-22 11:32

作者: mumu4273 时间: 2011-10-31 20:33
把那凝聚状物，电子探针测下就清楚了

作者: wxjfdw 时间: 2012-3-10 08:37
学习学习

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