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标题: 怎么用小口径干涉仪测量大直径镜片的平行度？？ [打印本页]

作者: kitten 时间: 2011-3-11 23:05
标题: 怎么用小口径干涉仪测量大直径镜片的平行度？？
有没有哪位有用小口径干涉仪测量大直径镜片的方法介绍啊！现在我们一台干涉仪（zygo类式). 口径是25.4mm。但是我的镜片是25mm的。想测量平行度（两个面的斜角). 测量时候的问题是镜片把参考面整个挡住了，没有参考光，所以无法测量。各位有什么高见啊，采用局部显示测量的方法（就是指将镜片的一半放置在光路中）可以吗？
谢谢了！

作者: kinefree 时间: 2011-3-24 16:42
学习学习

作者: huyuzhe 时间: 2011-5-20 13:32
不会吧，zygo的干涉系统不是菲索的吗？
你的参考光和物光是你被测件前表面和后表面的反射光，应该不存在被测件太大挡住参考光吧。

作者: huyuzhe 时间: 2011-5-20 13:32
哦，我说的是自准测量，建议用这个，精度高

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