光电工程师社区

标题: 真空技术 [打印本页]

作者: jxsp 时间: 2011-3-19 09:28
标题: 真空技术
我厂用的是国产的400低温泵，三帕开高阀到2*10-3要130分钟真空室从20帕到3帕一分半钟，真空室是不锈钢，是不低温泵不行?设备是北仪产的800电子枪镀膜机低真空用机械泵和罗茨泵

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-3-20 01:50

作者: JINFENG215107 时间: 2011-3-20 16:20

作者: wlinliu 时间: 2011-3-20 21:46
广告啊

作者: jxsp 时间: 2011-3-21 11:49
我听说低温泵进2*10-3是很快的，开高阀不用十分钟就可以了。想请哪位高手解答一下我厂的情况是什么原因？谢谢了

作者: 木口 时间: 2011-3-21 11:59

可能是你的低温泵性能不怎么好，是否使用了好久了？
如果是，可以考虑换或者在机器上面加一个冷阱，提高它的抽速！

作者: carpty 时间: 2011-3-21 14:21
是不是要再生了

作者: wazxq 时间: 2011-3-21 14:30
以前是i什么状况

作者: jxsp 时间: 2011-3-22 15:39
冷泵厂拿去再生，修理回来装上还不行，空机到2*10-3开高阀后要30分钟

作者: jxsp 时间: 2011-3-22 15:45
爱发科的说空机下进2*10-3不到3分钟

作者: 木口 时间: 2011-3-22 15:50
还是冷泵有问题！他们检测了没有啊？
或者是系统漏气！

作者: jxsp 时间: 2011-11-27 09:10
有哪位知道CTI的OB-400冷泵配9600压缩机降温要多少时间?一级和二级到几K?最低温到多少K?如何验收新泵是否合格?

作者: xiao2011 时间: 2011-11-28 12:01

作者: tyan007 时间: 2011-11-30 10:07

作者: jiayuch 时间: 2011-11-30 11:37
1.漏气 2. 漏水 3.冷泵泵有问题 4.离子规有问题

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