光电工程师社区

标题: 各位高人,如何提高表面面型的测量精度 [打印本页]

作者: 宝宝 时间: 2004-2-12 00:20
标题: 各位高人,如何提高表面面型的测量精度
由于测量面形时,系统误差很大如何去处?[glow=谢谢[/glow]

作者: 夏冬瓜 时间: 2004-2-12 02:52
标题: 各位高人,如何提高表面面型的测量精度
试试轮廓仪来测面形吧

作者: 宝宝 时间: 2004-2-12 17:08
标题: 各位高人,如何提高表面面型的测量精度
我用的是zygo干涉仪，要求测量精度优于1/20wave

作者: lczhy00001 时间: 2004-2-12 18:29
标题: 各位高人,如何提高表面面型的测量精度

下面引用由夏冬瓜在 2004/02/11 06:52pm 发表的内容：
试试轮廓仪来测面形吧

作者: 新上路 时间: 2004-2-15 07:11
标题: 各位高人,如何提高表面面型的测量精度
绝对检验精度最高 1/100 波长

作者: laowupo 时间: 2004-2-15 10:56
标题: 各位高人,如何提高表面面型的测量精度

下面引用由宝宝在 2004/02/12 09:08am 发表的内容：
我用的是zygo干涉仪，要求测量精度优于1/20wave

1.其实ZYGO干涉仪测量精度要看是国产还是进口
2.1/20的可以测量

作者: lzk 时间: 2004-2-15 18:21
标题: 各位高人,如何提高表面面型的测量精度
一般ZYGO公司的标准镜的精度也就在0.05左右，如果是要测量1/20的精度的话，环境、温度、振动都要求非常的严格。而且在测量过程中测量的范围选定也很关键。如果你要测量的面积在95%以上的话可能有很大的困难。因为他处理的时候会将边缘的误差计算在内。

作者: jackonlee 时间: 2004-2-23 22:44
标题: 各位高人,如何提高表面面型的测量精度
wyko可以测量吗？

作者: xdj 时间: 2004-2-24 04:03
标题: 各位高人,如何提高表面面型的测量精度
wyko可以测量zygo干涉仪也可以测量

作者: jackonlee 时间: 2004-2-24 04:22
标题: 各位高人,如何提高表面面型的测量精度
真的吗?可我不知道怎么测?看样子真要研究研究.谢谢!能说明确一点吗?

作者: 超光滑 时间: 2004-3-1 23:56
标题: 各位高人,如何提高表面面型的测量精度
请问：那为师兄可以给我介绍下有关sic的一些知识（物理化学特性和光学加工方面的）谢谢！

作者: jackonlee 时间: 2004-3-2 02:17
标题: 各位高人,如何提高表面面型的测量精度
是的，可以测量。可是有很多参数没有弄明白，看来还得邀请专家来给我们上课。

作者: 三面互检 时间: 2005-5-16 18:58
高精度的可以使用绝对检验的方法
三面互检阿

作者: gchdy 时间: 2005-6-28 01:19
你的问题提的很含糊，能具体些吗？

作者: leonnow100 时间: 2005-7-18 23:22
如果你用的是ZYGO ，你可以请ZYGO帮你做一次系统误差的校正，当然这个本人也会做。
或买精度更高的标准镜，干涉仪加装严密的工作棚，震动及空气流动能产生一倍的误差。

作者: xiaoniu 时间: 2005-9-5 22:11
呵呵，最近对这方面问题感兴趣，顶一下

作者: MsCrocodile 时间: 2005-9-6 00:14
有哪位了解目前国内干涉仪的市场销售情况及价格啊？

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