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标题: 怎样抓tooling值呢 [打印本页]

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-3-26 10:30
标题: 怎样抓tooling值呢
对于tooling，现在我算是有点理解了，但也有一些疑问。我们是抓机器的tooling只需抓一次，还是对于每一个使用的材料都要抓一次tooling呢，tooling是设计值与实测值之比，还是实测值与设计值之比。假如我们是只用晶控来监控，对于tooling的变化，我们都会在IC/5膜厚仪设置里修改吗？我们的机器我还没有看到过修改tooling值，是不是意味着机器还比较稳定呢

作者: zarke 时间: 2011-3-27 16:16
一般设一次就行了，探头位置不变的话不需要改数。

作者: captainH 时间: 2011-3-28 09:50
设备不错啊，用的IC5。

都做好了就不要再抓了嘛。就用原来的

作者: 木口 时间: 2011-3-28 10:46

作者: z1206l 时间: 2011-3-28 12:36
对tooling的定义不同，计算方法和调整频率是不一样的。

作者: snscm 时间: 2011-3-29 14:17
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如果对膜层厚度要求很高的话，应该在每次更换材料、晶振片时对工具因子进行校正。
校正方法是，假设以0.5的工具因子镀膜，显示厚度是1000埃，实际测量厚度是800埃，那么实际工具因子应该是T=800/1000*0.5

作者: snscm 时间: 2011-3-29 14:20
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如果对膜层厚度要求很高的话，应该在每次更换材料、晶振片时对工具因子进行校正。
校正方法是，假设以0.5的工具因子镀膜，显示厚度是1000埃，实际测量厚度是800埃，那么实际工具因子应该是T=800/1000*0.5

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-3-29 18:08
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谢谢

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-3-29 18:12
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请问你是怎么算实际测量的厚度呢，我们只有测反射率的机器，奥林巴斯的，通过反射率怎么求实际厚度呢

作者: wlinliu 时间: 2011-3-30 04:05
光学厚度除以折射率就等于膜层物理厚度,不考虑色散
呵呵,我这里除了德国莱宝其他机器用的都是IC/5,我们可以共同探讨

作者: snscm 时间: 2011-3-30 15:08
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我没用过光学测膜的仪器，一直在用台阶仪

作者: mxbplayboy 时间: 2011-4-6 21:34
学习中

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