光电工程师社区

标题: 油扩散泵抽速不稳定？ [打印本页]

作者: fawang 时间: 2011-4-3 12:21
标题: 油扩散泵抽速不稳定？
各位大侠，请问油扩散泵如果3年没保养过（仅加油或换油），镀膜室内充气体（固定流量600SCCM），会不会出

现镀膜室压力时高时低（从2mtorr到3.2mtorr），也就是抽速不稳定这种现象？因为以前没出现过，当

然也可能是漏气，但我想问如果不漏气的情况下会不会出现这种情况？谢谢！

作者: fawang 时间: 2011-4-11 15:11
如果不放气体时，压力并不会变化，而且流量计读数也正常，没发现问题。

这里的帖子也会沉？大侠们，出来换口气塞！

作者: whpe2000 时间: 2011-4-12 10:50
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作者: fawang 时间: 2011-4-12 13:11
哈哈，以前没出现过这样的问题，其它工艺条件都没变，而且其它几台镀膜机也没出现这样的问题。

作者: flashamity 时间: 2011-4-14 15:12
13331858837,打这个电话问问他懂不懂,他是做真空设备维修和保养的.如果知道一定会告诉你的,祝你好运

作者: fawang 时间: 2011-4-16 00:04
哈哈，谢谢！

作者: ase11132 时间: 2011-8-5 01:52

作者: ghtzna 时间: 2011-8-7 10:42
什么机台啊充这么多的气体

作者: 奋斗 时间: 2011-8-7 21:28
这个有问题

作者: fawang 时间: 2011-8-8 22:28
都别有问题啊,说说有什么原因啊!

作者: monggugi 时间: 2011-9-7 11:09
是不是用的时间长了泵内有水份了啊用一段时间要放放水的啊

作者: wangxudong1227 时间: 2011-9-7 14:40
600SCCM?!
能说下什么设备么？大家好分析点

作者: fawang 时间: 2011-9-7 19:34
兰州真空的油扩散泵，K-400T

作者: ghtzna 时间: 2011-9-8 10:25
该保养了或者确认阀门有没有漏气机台不保养是不行的

作者: wangxudong1227 时间: 2011-9-8 16:50
油品有问题。建议更换油试下。
我这边有出现过刚保养了的扩散泵，在2.5E-4Mbar 抽速不稳，更换油后OK。

作者: sery1234 时间: 2011-9-9 09:19
三年没保养你强悍，600SCCM 不是做光学的吧溅射的设备？哪你就用分子泵好了分子泵的优点就是抽速稳定，扩散泵抽速没那么稳定，特别是大气量加进去的时候，这个时候你还要求稳定在1个sccm以内，会有问题哦，嘎嘎，狂言乱语多指教，

作者: fawang 时间: 2011-9-10 21:20

sery1234 发表于 2011-9-9 09:19
三年没保养你强悍，600SCCM 不是做光学的吧溅射的设备？哪你就用分子泵好了分子泵的优点就是抽速稳定，扩 ...

哈哈,没办法,老板说不用保养,说保养了泵芯装的位置不好反而起反作用,能力有限,说不过老板。当然不是光学镀膜了，我倒希望是光学镀膜了，那样作出来的产品一个都卖不出去，他就会知道世界上其他人总结的保养经验不是白总结的。可我也没要求稳定在1SCCM啊，流量计也没那么精确拉（量程是1000SCCM的）。分子泵是抽速稳定，可惜没钱，当初老板被人忽悠了，用买分子泵的钱买了装扩散泵的镀膜机。不过替老板也说句话，兰州真空的泵芯是铝做的，工人保养时不上心的话会将泵芯弄变形，这倒会使扩散泵起反作用。

作者: fawang 时间: 2011-9-10 21:22

wangxudong1227 发表于 2011-9-8 16:50
油品有问题。建议更换油试下。
我这边有出现过刚保养了的扩散泵，在2.5E-4Mbar 抽速不稳，更换油后OK。

哈哈，没用的，拆下后泵芯上别人是油垢，我们是沥青一样的东西，哈哈，第一次见，无语！

作者: wangxudong1227 时间: 2011-9-11 12:09

fawang 发表于 2011-9-10 21:22
哈哈，没用的，拆下后泵芯上别人是油垢，我们是沥青一样的东西，哈哈，第一次见，无语！

```沥青····3年没保养果然 NB···

作者: gxfdllg 时间: 2012-3-22 16:32

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