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标题: 膜色不均问题的解决方法。 [打印本页]

作者: ranguangpu 时间: 2011-4-6 11:23
标题: 膜色不均问题的解决方法。
各位师傅：请问一下每一圈的膜色不均，因为伞的幅度较大，均匀性挡板成了宝塔形状了，上半部分窄，下半部分宽一些，镀膜时各蒸发源的均匀性挡板与每一排相对应，但问题就是镀左边时，右边的均匀性挡板的位置与每一排的位置就不对应了，镀右边时同样的问题，就导致挡板上那个排与排之间的缺口会出现在镜片中间，出来的镜片就会有两种色差，材料是Si，ti,蒸发速率分别是6.5;2.0;请问是什么原因造成的？指教一下，不胜感谢！

作者: qjy 时间: 2011-4-6 15:52
均匀性挡板设计的有问题，愿意的话可以和我联系解决

作者: 苏州膜头 时间: 2011-4-6 19:05
发个图片啊？？？
给你参考参考。

作者: ranguangpu 时间: 2011-4-7 08:30
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不好意思，相片还没有，五排的伞，挡板就像几个葫芦连起来的了，不这样修的话，四角不行，搭配也不行，如是这样，颜色又不好控制，困扰我很久

作者: 木口 时间: 2011-4-7 15:40

学习

作者: john03062003 时间: 2011-4-7 17:50
这个需要单独调整，你是用一个蒸发源来镀两种材料，还是两种材料选择不同的蒸发源？单独调整应该没有问题的，色差的问题也就解决掉了。

作者: ranguangpu 时间: 2011-4-7 19:17
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不同蒸发源，就是镀ti的时候呢，sI的挡板阴影部分与每一排不对应，镀si的时候呢，ti的挡板阴影部分与每排也不对应，就是那个阴影造成颜色不均，波长两边短，中间稍长，因为那阴影的缺口就在镜片中间。我怀疑是不是ti蒸发速率太少了。还是温度太低了（160度）

作者: z1206l 时间: 2011-4-7 21:23
所有的问题都不是问题

作者: mxbplayboy 时间: 2011-4-7 22:02
学习中

作者: qjy 时间: 2011-4-7 22:39
最主要的问题是你们水平不行

作者: ranguangpu 时间: 2011-4-8 08:26
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谢谢指教啊，请问下高手从何处去解决啊？非常期待你的答案，谢谢

作者: qjy 时间: 2011-4-8 11:06
我可以帮你们解决，但是天下没有免费的午餐，不过有一点可以明确的告诉你，你们的修正挡板肯定有问题，你们的修正板肯定是根据实验估计着做的，没有经过精确的计算，误差太大

作者: ranguangpu 时间: 2011-4-8 11:43
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实在，什么条件

作者: qjy 时间: 2011-4-8 22:30
呵呵！当然是要出票子了！如果需要，可以联系我

作者: marcsle 时间: 2011-4-9 10:24
楼上这兄弟够实在的哦

作者: ranguangpu 时间: 2011-4-9 13:41
哎，这年头不好混啊，努力啊

作者: ghtzna 时间: 2011-4-13 11:51
温度可以加，没雾就行，还有你的伞架不行了。

作者: ranguangpu 时间: 2011-4-13 19:22
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谢谢。以前的机器没有这样的事情，这是新国产机，速率方面我作了变更，还是一样，准备换下灯丝（8圈1cm）的看看。

作者: 山村野夫 时间: 2011-4-13 21:28
最多两罩跟你搞定

作者: captainH 时间: 2011-4-14 09:08
有钞票我也想赚哦。。。。。

我也2炉给你搞定

作者: 宇宙深处 时间: 2011-4-14 09:41
做这种修正板还要收钱?
楼主自己多用点心动手设计吧!不难的!

作者: ranguangpu 时间: 2011-4-14 09:55
谢谢鼓励，已经有方向了，我做这六年了，不知道是以前没留意这种颜色差异呢还是没有出现过，我给的朋友讲他们也纳闷啊，哈哈。为什么会这样呢？用同样的方法做出来的东东不一样！！！！！，郁闷很久，现在慢慢就ok了，努力！！

作者: xiu0214 时间: 2011-4-14 19:47
5段的傘從每排傘孔上下邊連線至使用坩鍋之中心,擋板則會分成10分左右連線,進行單層測試,差值在5nm以內就可解決若使用2個電子槍,兩個都需.供參考.

作者: ranguangpu 时间: 2011-4-14 19:54
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谢谢

作者: xiazg 时间: 2011-4-21 09:52
嘉兴晶控电子有限公司坐落于浙江省嘉兴市余新镇镇北路23号，厂房面积7600平方米，员工100人，是一家专注于石英晶振片研发、生产和销售的科技企业。
JJK创建于2000年2月，主要业务是石英压电晶体生产和销售。2002年JJK逐步进入石英晶体振荡式传感器行业，主要产品为石英晶振片和石英晶体微太平。2005年，JJK成为了美国著名晶振片企业的晶振片基片配套企业。2008年，JJK引进美国真空镀膜机和检测设备。自主研发生产石英晶振片，并拥有自己的JJK品牌。主要有金，银、合金，5MHZ\6MHZ等18种规格的石英晶振片。品质稳定、价格合理、交货及时、服务周到，深受国内外客户的青睐。产品适用于光学、光电、LED 、半导体等行业的镀膜监控，可完全替代进口的晶振片。
为客户提供最可靠的晶振片是JJK不懈追求的目标。为进一步满足客户的需求，JJK不断研发关联新产品，为客户提供多种价廉物美的镀膜材料如SIO2、TI2O3、TI3O5、MgF h4 AL2O3等，另有晶控探头相关备件等。
咨询电话 0573-83678773 15068338773 夏志国经理 QQ 1046118891

作者: jionboy 时间: 2011-4-21 23:18
楼主加油，我觉得你也可以只在中间位置放一个均匀挡板

作者: ranguangpu 时间: 2011-4-22 08:38
谢谢，现在已经解决了，主要还是均匀性挡板不好修正，因为伞幅度较大，以后大家购买夹具幅度高不要过22cm,不然真不好搞啊

作者: qqucqquc 时间: 2011-4-25 12:48
你们用的是单枪还是双枪的镀膜机？你的修正板的形状好诡异

作者: ranguangpu 时间: 2011-4-25 14:04
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太诡异了，两个蒸发源，像叶子形的话，上下部分相差十几个nm

作者: qjy 时间: 2011-4-25 15:31
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呵呵！不是不好搞，是不会搞！水平到了再大的都没有问题！

作者: ranguangpu 时间: 2011-4-26 18:57
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肯请大师指教撒！！！！

作者: zhangcaineng 时间: 2011-5-8 15:33
修一下辅正板啊

作者: huang12949 时间: 2011-5-12 15:44
请问三个锅的倾斜式行星工件架理论上又该如何调整均匀性?

作者: xiaolan125 时间: 2011-5-13 10:54
应该是修正挡边问题，导致可见光部分反射率不一致，造成人眼看起来膜色差异

作者: yong0009 时间: 2011-5-13 15:13

作者: fasces9 时间: 2011-7-30 16:38
我司也出现膜色不均匀的问题，但是去年正常今年不正常该如何解决，

折腾我一个月了，目前温度上升情况好点，充氧增加情况好点，求指教。

颜色对比.rar

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作者: zouyou828459 时间: 2012-9-15 12:22
我的朋友也遇到过这种问题，他也搞不定来问我，但是我只对有两个修正板的修正理解透一些，但他的是单枪修正板，而且他设计一个400到700的增透膜用了5种材料去做，是用晶控去镀的，这更让我为难啊，想想看一种材料都不知道怎么去修，还一下要做5种材料的参数，所以我跟他说就用两种材料去做就行了，但我还是对这种单枪单修正板做多种材料的均匀性修法产生怀疑，这样是不是修的精度不高吧，因为有点顾此失彼的感觉，是不是如我所说的这样啊？望高手指点下！

作者: wdydede 时间: 2012-9-15 21:04

作者: 碧海瀾濤 时间: 2012-9-16 18:05

作者: LOUYC 时间: 2013-7-23 14:01

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