光电工程师社区

标题: 超光滑表面的加工技术 [打印本页]

作者: 老驴 时间: 2003-4-9 19:08
标题: 超光滑表面的加工技术
最近我看了一些有关超光滑表面加工的一些书和文章,怎么觉得他们说的都是换汤不换药呢,翻来覆去说的就是几种方法,20世纪的和19世纪的好象没什么区别,难道就没有进展吗?

作者: wjf990 时间: 2003-4-10 06:08
标题: 超光滑表面的加工技术
难道20世纪60年代出现的离子抛光也和19世纪的没什么区别吗？该方法适用于表面修正量小于20微米的零件，其精密抛光的最小表面粗糙度取决于离子束聚焦直径的大小。如能提供直径为1-2微米的微离子束以及超精光束位置的控制，可用于超精图形加工和对三维零件直接进行超精抛光。

作者: 老驴 时间: 2003-4-10 17:18
标题: 超光滑表面的加工技术
多谢指教

作者: ic5 时间: 2003-4-10 20:48
标题: 超光滑表面的加工技术
要求表面粗糙度小于8μm，其抛光难度高吗？

作者: 老驴 时间: 2003-4-11 18:03
标题: 超光滑表面的加工技术
我没工作过，我不知道这个有多难，但是我现在正在看的超光滑表面都是nm级的

作者: wjf990 时间: 2003-4-12 03:27
标题: 超光滑表面的加工技术
说来说去，你们说的不是光学元件加工吧，光学上表面粗糙度一般是不用um、nm做单位的。上述离子抛光面形精度可达0.1um，表面粗糙度约为Ra0.01微米。虽应用范围广泛，但除成本昂贵、设备复杂外，因抛光速度很慢，所以只适用于加工微型零件、偏离平面或非球面度较小的非球面和起始精度为λ/2的高精度平面。

作者: ic5 时间: 2003-4-15 02:52
标题: 超光滑表面的加工技术
哈哈,让我大开眼界,请问老驴同志,你的nm级抛光技术是怎么实现的,采用怎样的原理,其用途在哪个方面?

作者: wjf990 时间: 2003-4-15 07:00
标题: 超光滑表面的加工技术
ic5你好，你说的表面粗糙度8um，具体指的是哪一项指标呢，Ra?还是Rz?若是Ra的话，该是粒度240#到W28的磨料粗磨后的表面，若是Rz的话，该是W28到W14的磨料精磨后的毛面。一般对于抛光表面来说，用于平面镜、保护镜的抛光面等不在光学系统中的零件工作面，Ra0.01-0.02，Rz0.05-0.1；用于透镜、棱镜、分划板、反射镜等光学零件的抛光面，Ra0.01，Rz0.05；单位都是um哦

作者: xyqy 时间: 2003-4-15 07:01
标题: 超光滑表面的加工技术
20世纪初的工艺和19世纪的或许没什么区别，但八十年代之后应该有许多新的进展，只是见著资料的不多而已。
因为90年代之后，做光学工艺的比较萧条，书籍也就不太出版了，所以几乎没有新的理论和资料了。

作者: gzc423 时间: 2003-4-15 07:14
标题: 超光滑表面的加工技术
離子束拋光---離子束拋光是在高真空環境下進行的，設備比較昂貴、它是用被加速的離子與工件表面原子核直接產生彈性碰撞，將能量直接傳給工件材料的原子，使其逸出表面從而將材料去除。是一種典型的用物理碰撞方法進行拋光的技術。
Kodak利用這一技術加工直徑0.5m,面形λ/50 rms,粗糙度0.6nm rms的表面。

作者: wjf990 时间: 2003-4-15 07:23
标题: 超光滑表面的加工技术
是啊，为生产指路的工艺，是各企业的技术机密呢，从尊重知识产权的方面看来的确是该保密，可从改进、交流、论证等方面看来，就有点那个了。呵呵。。。。现在那几本专业期刊上，又有几篇关于工艺的文章呢？！

作者: 老驴 时间: 2003-4-16 05:45
标题: 超光滑表面的加工技术
超光滑表面的用途有很多呀，只不过我现在不记得很清楚了，好象可以用在微型的电子元气件上，还有光扦通信上，还有我就不记得了，实现方法好象有古典发，水浮发。。。。哎，不说了，省着错了被笑话，等哪天我拿着资料来在具体答复IC5老兄

作者: xyqy 时间: 2003-4-16 06:22
标题: 超光滑表面的加工技术
老驴兄说得对，超光滑表面的用途有很多，特别是微电子方面。

作者: ic5 时间: 2003-4-17 00:51
标题: 超光滑表面的加工技术
谢谢老驴、Wjf990等各位大侠！

作者: 老驴 时间: 2003-4-18 22:59
标题: 超光滑表面的加工技术
呵呵，麻烦各位千万别称呼我大虾，不叫我菜鸟我已经很满足了

作者: 老驴 时间: 2003-4-20 23:36
标题: 超光滑表面的加工技术
各位果然是高手,小弟关于超光滑表面的毕业论文写的差不多了,有时间贴点上来,其实更准确的说应该是借花献佛,我也是抄别人的
还要问两个问题,什么是亚表层,什么算亚纳米

作者: wjf990 时间: 2003-4-23 05:02
标题: 超光滑表面的加工技术
  离子抛光工艺过程：
  1、把所要求的光学表面形状用精确的数学公式表示；
  2、如要加工非球面，先要经过计算并用普通方法加工出与非球面最接近的球面或抛物面（即近似球面）；
  3、用激光干涉仪精确测出近似球面的表面形状数据；
  4、将测得的表面形状数据与所要求精密光学表面的数学表达式进行比较，获得表面误差矩阵，该矩阵决定了离子束对近似球面局部区域内要去除的材料数量；
  5、将表面误差数据输入计算机，计算机的作用是驱动离子束做两轴扫描运动，控制离子束在光学表面的位置和停留时间，监视离子束状态并对其微小变化进行校正；
  6、将用普通方法加工好的具有近似球面的工件放到真空靶室中，用粒子束在计算机控制下进行抛光以形成所需表面形状的光学零件。

   上面内容是摘录的哦（略去了部分参数，以免作者追究责任），我自己可没加工过呢！：）

作者: 老驴 时间: 2003-4-30 01:44
标题: 超光滑表面的加工技术
谢谢谢谢,这段摘录对我来讲可是雪中送炭呀

作者: wjf990 时间: 2003-5-2 05:14
标题: 超光滑表面的加工技术
不客气，借花献佛哦！：）

作者: sanma 时间: 2003-5-5 07:06
标题: 超光滑表面的加工技术
我不是搞光学加工的，但我想了解上面有些行家所说的Ra/Rz是什么意思，用什么仪器可没光学表面的粗糙度的？

作者: wjf990 时间: 2003-5-5 21:25
标题: 超光滑表面的加工技术
  Ra——轮廓的平均算术偏差：在基本长度内被测轮廓上各点至轮廓中线距离（绝对值）的总和的平均值；
  Rz——不平度平均高度：在基本长度内，从平行于轮廓中线的任意一条线起，到被测轮廓的5个最高点（峰）和5个最低点（谷）之间差的平均值。
  这是表面光洁度国家标准中规定的，可不单指光学行业哦！：）

作者: tw 时间: 2003-5-6 06:12
标题: 超光滑表面的加工技术
学习的目的不在于自己记住多少，而在于能不能很快找到有用的信息——我是个懒人，呵呵。。。。：）

我同意

作者: wjf990 时间: 2003-5-7 00:27
标题: 超光滑表面的加工技术
谢了哈，兄弟：）

作者: chenhx803 时间: 2003-6-25 10:12
标题: 超光滑表面的加工技术
飞机和导弹上的激光陀螺要求超光滑表面

作者: liuhk 时间: 2003-6-25 21:06
标题: 超光滑表面的加工技术
没有达到表面粗糙度Ra＜0.01um不算是光学用表面层级
我直接用机床加公表面的粗糙度Ra＜0.01um
表面非球面轮廓精度达Pv＜1-1/2λ

作者: xujexy 时间: 2003-6-26 17:20
标题: 超光滑表面的加工技术
大家可以去买一本《先进光学制造》，能基本上了解超光滑平面加工。我坚决认为表面粗糙度和平面度是完全不同的概念。

作者: cgh0127 时间: 2003-12-22 05:50
标题: 超光滑表面的加工技术
本人有几种牌号的玻璃能抛到0.5nm一下。请教楼上的前辈们哪里专门从事这个？我想在这方面进一步发展。

作者: cgh0127 时间: 2003-12-24 03:36
标题: 超光滑表面的加工技术
楼上的前辈们，我想了解哪里专门搞超光滑的！有几种牌号的玻璃我能抛到0.5nm。我想接触更多的种类。

作者: liuquan 时间: 2004-1-2 03:42
标题: 超光滑表面的加工技术
好文

作者: lczhy00001 时间: 2004-1-2 17:19
标题: 超光滑表面的加工技术
我公司采用机械化学抛光法抛LN，用轮廓仪检测Ra0.5nm。
lczhy00001@sina.com

作者: speedfamzhao 时间: 2004-1-7 06:32
标题: 超光滑表面的加工技术
从我SPEEDFAM公司的技术报告来看，在GLASS加工方面。我公司的设备加工的粗糙度是30埃，按波长0.294微米来算可自己折算的。平坦度在1微米以下，平行度在1微米。（不过要看工件的大小，厚度。厚度大于50微米。

作者: vaniia868 时间: 2009-1-12 16:09
用经典抛光，要想达到纳米级，关键在抛光液。

作者: vaniia868 时间: 2009-1-12 16:10
我的工艺可以轻松达到粗糙度6-7纳米。

作者: vaniia868 时间: 2009-1-12 16:13
我的QQ：937738705有需要工艺的联系。再者，还有加工90度角误差小于2秒的工艺。

作者: vaniia868 时间: 2009-1-12 16:22
我有加工工艺.................

作者: vaniia868 时间: 2009-1-12 16:27
24# chenhx803
具体说说！激光陀螺上的什么部位需要超光滑抛光？

作者: vaniia868 时间: 2009-1-12 16:29
27# xujexy

当然。平面度指的是面型，很粗糙的表面也可以有很好的平面度。

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