光电工程师社区

标题: 超光滑表面粗糙度的測量？ [打印本页]

作者: gzc423 时间: 2003-4-15 17:49
标题: 超光滑表面粗糙度的測量？
超光滑表面制造出來後其表面粗糙度如何測量？

作者: xyqy 时间: 2003-4-15 19:36
标题: 超光滑表面粗糙度的測量？
干涉显微镜或非接触台阶仪可以

作者: 老驴 时间: 2003-4-16 05:39
标题: 超光滑表面粗糙度的測量？
我只记得有接触和非接触两大类

作者: gzc423 时间: 2003-4-16 23:58
标题: 超光滑表面粗糙度的測量？
nm米級的呀！

作者: ic5 时间: 2003-4-17 00:52
标题: 超光滑表面粗糙度的測量？
上海光机所有这样的测量设备，具体名称不详！你可以去看看！我在那里测过，可惜不让进去看！

作者: mahubble 时间: 2003-4-17 05:42
标题: 超光滑表面粗糙度的測量？
听说共焦扫描显微镜的深度分辨率很高，不知能否用于此处。

作者: gzc423 时间: 2003-4-18 15:57
标题: 超光滑表面粗糙度的測量？
我想找光学手册啊！有的话言一声，先谢啦！gzchung@neoptic.com.cn

作者: mincailiu 时间: 2003-4-18 20:49
标题: 超光滑表面粗糙度的測量？
表面粗糙度测量我这里就有仪器测量，WYKO表面轮廓仪（非接触式测量，有4中取样面积），测量精度号称0.1nm,实践中可以保证0.3nm的精度。

作者: lzk 时间: 2003-4-18 23:45
标题: 超光滑表面粗糙度的測量？
zygo公司的newvewl 5000可以测量。我测过几次。

作者: 老驴 时间: 2003-4-20 23:55
标题: 超光滑表面粗糙度的測量？
接触式测量仪有英国泰勒.霍普森公司制造的TALYSTEP,FORMTALYSURF和英国国家物理实验室研制的Nanosurf 2型表面粗糙度测量仪
非接触式测量有干涉法(仪器有美国WYKO公司的TOPO-3D,美国ZYGO公司的MAXIN.3D和ZYGO5500等),临界角法,用扫描隧道显微镜(STM)测量

作者: 好牛 时间: 2003-11-5 20:35
标题: 超光滑表面粗糙度的測量？
ZYGO NewView 5000
测样品的话,复旦大学有.
买的话,www.lamdapacific.com

作者: hai-tan 时间: 2003-11-17 06:17
标题: 超光滑表面粗糙度的測量？
采用白光干涉扫描可以测量，美国ZYGO和WYCO都有类似产品，测量精度可达到0.1nm，浙江大学光电系有类似产品。

作者: ukyochen 时间: 2003-11-17 17:01
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作者: joy 时间: 2003-11-17 17:16
标题: 超光滑表面粗糙度的測量？
用原子力显微镜（AFM）可以测量纳米级的表面粗糙度

作者: uestcwin 时间: 2003-11-19 19:16
标题: 超光滑表面粗糙度的測量？
钠米测量技术里提到的很多显微镜(STM,AFM)...等等,其分辨率都可以达到钠米级

作者: zwslc 时间: 2003-11-20 20:12
标题: 超光滑表面粗糙度的測量？
原子力显微镜

作者: 南山王 时间: 2003-11-20 20:29
标题: 超光滑表面粗糙度的測量？
南京大学电子系，025-83686252

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