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标题: 磁控反应溅射采用石墨靶如何制备氮化碳薄膜 [打印本页]

作者: ji8022 时间: 2011-4-26 15:35
标题: 磁控反应溅射采用石墨靶如何制备氮化碳薄膜
如题，本人最近实验在20sccm和50sccm流量下镀制氮化炭薄膜，但颜色为咖啡色，酒精擦几次就掉膜。再加温250°C条件下，同样。那位高人能指点一下吗？先谢了！

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