光电工程师社区

标题: 钼舟蒸发MGF2的请教. [打印本页]

作者: sky4198    时间: 2004-3-24 04:59
标题: 钼舟蒸发MGF2的请教.
请教各位,为什么我用钼舟蒸发MGF2的时候会发生脱膜的现象.
请各位帮我解答.
多谢了.
是镀单层膜的哟.
作者: likeoe    时间: 2004-3-24 08:25
标题: 钼舟蒸发MGF2的请教.
膜多厚,什么基底,有没有比较用电子枪蒸就不脱落?
作者: sky4198    时间: 2004-3-26 03:50
四分之一的厚度,COC的基底(和PMMA性质差不多的.)改用电子枪后就不脱了.
作者: sky4198    时间: 2004-3-26 03:51
本来我怀疑是钼与药相熔了,现在也已经排除了.
作者: likeoe    时间: 2004-3-26 14:49
在没脱膜之前,膜面的质量用两种方法制备出来的是不是相似呢?电子枪蒸发是表层升华或熔化(对于MgF2好象是升华蒸发),而电阻热蒸发是从底层蒸发的,MgF2不象金属Al,Ag等,它不会熔成球状的,所以有一种可能性是,电阻热蒸发出来的分子动能可能没有电子枪蒸发出来的高,是不是对于COC基底,MgF2本来结合就不是很好,以至于这点动能差别就显示不同结果?因没接触过这种材料,乱猜的。还有这种分析也是凭个人经验得出的,仅供参考。
作者: chz3210    时间: 2004-3-26 17:48

我想主要是因为你的基片温度不够高,


作者: ababab    时间: 2004-3-27 02:30
coc能耐多高的温度呀。
作者: sky4198    时间: 2004-3-27 03:49

coc能耐100摄氏温,但为什么用电子枪蒸镀就可以附着了呢/

而且,我的一锅料中还有pmma和pc的料呢.

另外,还有一台机子直接一点温度都没加,镀出来的结果比加了温度的还要好呢.


作者: sky4198    时间: 2004-3-27 03:54

给;likeoe

假设如您所说,是因为动能不够,那么应该怎么改善为好呢/


作者: ababab    时间: 2004-3-27 22:49
你用钼舟镀每次都是一样结果吗,也就是会脱膜。你用的蒸发速率有多大。
作者: sky4198    时间: 2004-3-28 04:42

老板说脱没脱没关系客户又不知道,赶着让我用钼舟镀。

这几天都硬顶下来了还是用枪,各位再不帮我想想办法解决了我可要顶不住只好做了让大家丢脸的事了。

今天抽空又试了一锅。强电流的,PMMA的没有脱,但COC的还是照脱不误呀。


作者: sky4198    时间: 2004-3-28 04:50

老板今天又在催我改用钼舟镀了,我前几天都硬顶下来了一直都还用枪,

各位再不指点指点,我马上就要顶不住要做出让大家丢脸的事了。

今天抽空又镀了一锅(加了强电流),结果除去附着性不谈外其它的都是非常非常的好而且PMMA的测试片也未发生脱膜现象,只有COC仍照脱不误。


作者: 我是小学生    时间: 2004-3-28 06:22
你应该增加镀前烘烤时间和烘烤温度.
作者: 风寒雪月缺    时间: 2004-3-28 08:12

MGF2常温下是软膜,我不了解COC基体的性质,如果COC比PMMA还软的话,那就可能不牢.

如果不是的话,你是否可以加层衬底层试一下.


作者: sky4198    时间: 2004-3-29 04:57

我今天又试了一锅,温度和真空度及电流都已经加到极限值了,结果还是不行呀.

COC材料的本质是要比PMMA硬一些的.

如果可以加层衬底的话,那早就用枪镀了.

本身用舟就是为了省时省材,怎么可以再加衬底呢?

那样的话要浪费多少材料,多少时间呀??????(我老板说的)


作者: zz    时间: 2004-3-29 17:50
镀MGF2温度又不能太高,确实有点麻烦。用EB可能将MGF2给分解了,所以会较牢吧。
作者: ababab    时间: 2004-3-30 02:29
以下是引用sky4198在2004-3-28 20:57:45的发言:

我今天又试了一锅,温度和真空度及电流都已经加到极限值了,结果还是不行呀.

COC材料的本质是要比PMMA硬一些的.

如果可以加层衬底的话,那早就用枪镀了.

本身用舟就是为了省时省材,怎么可以再加衬底呢?

那样的话要浪费多少材料,多少时间呀??????(我老板说的)

镀膜连普通的膜料都用不起还镀啥膜。
作者: sky4198    时间: 2004-3-30 05:21
有可节约的办法,当然就想用省钱省时的法子了.
作者: darly    时间: 2004-3-31 01:32

没错 ! 使用钼舟镀 MgF2 肯定可以节省成本的 .......

但是最大的问题是它的膜质不牢靠 , ........ 呵呵 .....

这是个老问题啦 , 挺容易解决的 ......

1. 可以将钼舟更换成钽舟

2. MgF2 使用的粒度改成 1 ~ 4 mm

3. 当真空度到达您设定值时( 至少也要 2.0*10^-5 torr ), 再等约 5 ~10min 后再镀

4. 去找射出成型 COC 的成品 , 检查表面有脱模用的油残留 === 那个油的残留才导致镀膜会脱膜 !


作者: sky4198    时间: 2004-3-31 05:31

多谢DARLY 的指教。

不过照您的说法来做的话,那一锅料用的时间就要延长好长时间了。

我们现在最快20分最慢35分一锅料照您的说法的话,最起码也要40分一锅料了。

COC的表面不存在油污染,因为在SHINCRON的机子上用冷镀都不存在膜层脱落的问题。


作者: wazxq    时间: 2004-3-31 06:06

我想应该是COC材料的问题,有些材料和一些膜料就是天生结合不好,likeoe 说的有道理,动能太小,所以电子枪的好一点。一直以来,我以为镀PMMA是要加离子源的,原来你们大批量做都不用加离子源。呵呵

我想你们要是有质量意识的话,就用电子枪镀吧。


作者: sky4198    时间: 2004-4-1 02:55

关键不在于我们,我们只是拿人钱财替人做事的打工仔而已.

老板要怎么做我们只能按着要求做了,不可能是我们想要怎么做老板就要听我们的吧.


作者: zz    时间: 2004-4-1 16:36
那你得讲事实摆道理说服老板。
作者: sky4198    时间: 2004-4-2 03:31
老板只认一个道理:怎么能得到更多的钱就怎么做。(而且是越快越好,也就是说有得赚时就赚,不管明天会怎么样。)
作者: 对与错    时间: 2004-4-17 00:13

老兄PMMA是不能和PC的放在一起镀的,那样肯定是PMMA的脱膜,材制和折折率都不一样


作者: yeye    时间: 2004-4-17 02:40
coc是什么?MGH2不好用,你可用其它材料啊?
作者: darkspace4321    时间: 2004-6-14 16:02
标题: 回复:(sky4198)钼舟蒸发MGF2的请教.
用舟镀,基底温度应在250°C左右.
作者: likeoe    时间: 2004-6-15 09:30
以下是引用sky4198在2004-4-1 19:31:39的发言: 老板只认一个道理:怎么能得到更多的钱就怎么做。(而且是越快越好,也就是说有得赚时就赚,不管明天会怎么样。)
这个老板成不了大老板,是中国企业发展的拌脚石!连质量是企业的生命的意识也没有,只有坑人!
作者: sky4198    时间: 2004-6-22 04:16
所以俺现在选择离开了.
作者: 超级狐狸    时间: 2004-8-7 18:13
呵呵~~你转述你老板的语气好象啊
作者: eagle1    时间: 2004-8-13 05:10

我觉得有可能出现问题的地方:

1. 镀前你的烘烤时间和温度;

2. 有离子源吗?

3. 镀制的温度不能高。


作者: sky4198    时间: 2004-8-14 03:36

无离子源,

镀前只是在真空室中加热烘烤十几分钟吧,烘烤时只有75摄氏度。

镀制时的真空室温度也不过如此。


作者: zz    时间: 2004-8-14 05:20
75也太低了,至少200看看
作者: sky4198    时间: 2004-8-15 05:31

大哥,

PMMA,COC都是塑料啊,

你要200度是的搞注塑还是镀膜呀。


作者: zz    时间: 2004-8-16 17:27
那你为啥要选MGF2呢,你若选它,非高温不可。
作者: bohr123    时间: 2004-9-2 07:55
动能不足是根本的原因。照你目前的设备和省钱的思路,解决不了。




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