光电工程师社区

标题: [讨论]TiO2 [打印本页]

作者: 风寒雪月缺 时间: 2003-5-21 14:12
标题: [讨论]TiO2
TiO2的多层膜镀制中的蒸发速率一般控制在多少?如何来减少它的吸收?

作者: xfx9721 时间: 2003-5-21 17:15
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作者: Jesus 时间: 2003-5-21 19:57
标题: [讨论]TiO2
建议蒸发速率3-8A/s,多充氧气，吸收没问题

作者: 风寒雪月缺 时间: 2003-5-22 04:24
标题: [讨论]TiO2
快了太容易溅料了.

作者: optionbeam 时间: 2003-5-22 05:45
标题: [讨论]TiO2
在5A/s左右,用氧离子束轰击或在沉积室中充氧气!

作者: xianrendu 时间: 2004-1-3 03:20
标题: [讨论]TiO2
参考:rate=0.25nm/s
充氧p=2--3e-2pa
温度250

作者: kent90 时间: 2004-1-3 04:34
标题: [讨论]TiO2
速率快了，没有吸收才怪。有离子氧又另当别论。用国产机的话，速率一般为0.2nm/s，但不管怎样，在400nm附近总是有吸收。

作者: fasces9 时间: 2011-7-15 17:15
2-3E-2Pa的真空度你们是多少的流量啊？

作者: ipshjh2005 时间: 2011-8-2 21:16

作者: wcb674399566 时间: 2011-9-11 10:24

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