光电工程师社区

标题: 请教一下关于膜层表面点子的问题? [打印本页]

作者: 流明 时间: 2003-5-30 19:50
标题: 请教一下关于膜层表面点子的问题?
近日,我在做一个表面要求是一级的滤色片,不管用离子辅助,还是加高温,表面都有数量较多的细点子,烦请同事,指点.[DISABLELBCODE]

作者: ic5 时间: 2003-5-30 19:56
标题: 请教一下关于膜层表面点子的问题?
真空室洁净吗（很大可能）？膜料有放气现象吗？

作者: 流明 时间: 2003-5-30 22:21
标题: 请教一下关于膜层表面点子的问题?
真空室是比较干净的，膜料在预熔时，有一定的放气现象，但在蒸镀过程中，放气是很少的。

作者: ic5 时间: 2003-5-31 00:19
标题: 请教一下关于膜层表面点子的问题?
什么设备？真空室里的每个角落都要注意！特别在蒸发源附近，好好考虑一下！

作者: 流明 时间: 2003-6-1 21:39
标题: 请教一下关于膜层表面点子的问题?
非常感谢IC5的指导，我会在这方面注意的。

作者: hgw2001 时间: 2003-7-1 18:59
标题: 请教一下关于膜层表面点子的问题?
不知道你镀的层数多不多。如果超过25层的话极有可能出现这样的问题。这可能有几个方面的原因。一是离子源功率过大。二是你的电子枪扫描不好，你是电子枪功率是如何控制的。是恒功率，还是由机子自已调制的。三加热温不要过高，温度过高也会引起麻点。

作者: feiyang 时间: 2003-7-13 03:53
标题: 请教一下关于膜层表面点子的问题?
同意楼上朋友的话，另外，与机器和室内的洁净程度有很大关系，如果，零件表面活性不够也会增加点子！

作者: isfm 时间: 2003-7-13 05:27
标题: 请教一下关于膜层表面点子的问题?
最大的问题，可能是膜料放气引起的喷溅。加强预熔，适当降低蒸发速率是有意义的。还可以试试离子后处理抛光

作者: rmchen 时间: 2004-3-31 06:55
有意义的帖子，顶一下。

作者: fulong927 时间: 2004-3-31 18:43
为什么零件表面活性不够也会增加点。多谢指教

作者: isfm 时间: 2004-6-18 02:29
标题: 回复：（feiyang）请教一下关于膜层表面点子的问题?
玻璃表面静电的存在是不是导致点子产生的主要原因？

作者: zz 时间: 2004-6-18 05:01

楼上的,那会产生细点吗?

作者: isfm 时间: 2004-6-18 19:29
镀膜室和真空室都不是很干净（请教ic5，干净有没有个标准？和机器出厂时一样吗？连续的生产需要干净到什么程度呢？），玻璃擦干净后，在强光下，可以看到很多小颗粒的飞扬，然后落到玻璃上之后，就很难吹掉了，做出来的膜细点很多。请问各位大虾，如何处理？

作者: qhbd 时间: 2004-6-18 21:59
回13楼，基片可以进行离子轰击来去除浮尘

作者: breeze9062 时间: 2004-6-19 00:13
离子轰击只能去除少量的浮尘，相当一部分除不去。必要的话可以用丙酮擦。

作者: zz 时间: 2004-6-20 06:16
超净有级别要求的.你看到的灰尘的影响可不是小细点,那可是大点.

作者: isfm 时间: 2004-6-20 09:07
请问breeze，在防止浮尘吸附方面，丙酮的擦拭效果比石油醚好？

作者: zz 时间: 2004-6-21 05:12
看来只能用老办法了：用火棉胶了

作者: isfm 时间: 2004-6-21 06:31
标题: 回复：（zz）看来只能用老办法了：用火棉胶了
火棉胶干吗用的？

作者: zz 时间: 2004-6-22 04:48
保护镀膜面的.

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-9-6 17:08
来过了，谢谢楼主

作者: laoxianccc 时间: 2013-4-27 12:37

作者: 新手求教 时间: 2013-4-28 11:16

作者: ghtzna 时间: 2013-4-28 16:16
滤光片外观是个头疼的问题
冷镀会好很多
市场主流基本蒸镀的多

作者: LOUYC 时间: 2013-7-20 16:51

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