光电工程师社区

标题: [讨论]膜料的稳定性 [打印本页]

作者: ofeiying 时间: 2003-5-31 19:13
标题: [讨论]膜料的稳定性
有哪些镀膜材料的稳定性不好,哪些膜料不易搭配?
请指教!

作者: ic5 时间: 2003-5-31 22:19
标题: [讨论]膜料的稳定性
膜料的稳定性和你的工艺环境有很大关系！你所说的稳定性是指哪个方面？物理性能？化学性能？

作者: ofeiying 时间: 2003-6-1 01:58
标题: [讨论]膜料的稳定性
不妨两种都谈谈!

作者: ic5 时间: 2003-6-1 16:52
标题: [讨论]膜料的稳定性
物理性能可以和蒸发速率、基板温度、成膜环境（有无离子源）等有关系。
化学性能和充氧量、膜料的吸收等有关系！（化学性能又膜料的特性决定）

作者: ofeiying 时间: 2003-6-1 17:58
标题: [讨论]膜料的稳定性
那么这些膜料的稳定性能够影响到膜层质量的哪些方面呢？

作者: my-sky 时间: 2008-12-2 13:13
upupupupupupupupupupupupupup

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)