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标题: 沉积速率在线测试系统 [打印本页]

作者: 勤学好问 时间: 2003-3-25 02:44
标题: 沉积速率在线测试系统
大家有谁了解国内哪儿有镀膜沉积速率在线测试系统？好象都是膜厚的在线测量，但没有速率测量机呀。

作者: ababab 时间: 2003-3-25 03:00
标题: 沉积速率在线测试系统
晶控都可以测沉积速率。如MDC，XTC等。

作者: 勤学好问 时间: 2003-3-25 17:50
标题: 沉积速率在线测试系统
谢谢楼上的指导。能不能再具体介绍一下这方面的？

作者: hakuto 时间: 2003-11-24 18:48
标题: 沉积速率在线测试系统
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