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标题: [求助]退火对膜的影响 [打印本页]

作者: slyz 时间: 2003-6-17 18:46
标题: [求助]退火对膜的影响
“在SiO2衬底上生长的多晶硅薄膜，经脉冲退火后晶粒的择优取向变成〈100〉晶向
”
该怎么解释阿？

作者: slyz 时间: 2003-6-20 18:09
标题: [求助]退火对膜的影响
实验的，理论的，都可以呀！

作者: ic5 时间: 2003-6-20 18:46
标题: [求助]退火对膜的影响
没做过！

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