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标题: sccm气体流量控制答疑啊 [打印本页]

作者: zerosea 时间: 2003-6-26 18:34
标题: sccm气体流量控制答疑啊
sccm（standard cubic centimeter）指气体得流量
但气体流量计是有针对性的，系数大小与分子量、分子间作用力等等相关，那怎么来知道某种气体得实际流量呢？？（听说有表可供查阅，不知道哪里有）
请教：我镀膜时用的是N2和Ar，流量计都是显示20sccm，我怎么来确定两者得实际流量？？

作者: hgw2001 时间: 2003-6-26 22:59
标题: sccm气体流量控制答疑啊
对于气体的流量它有两种控制方法。一是恒流。二恒压。我不知道你的机子是采用什么来控制的。别外如果是全自到膜机的话它是气流控制是你设置好了的。

作者: ic5 时间: 2003-6-27 00:44
标题: sccm气体流量控制答疑啊
这是电子阀门控制的结果！

作者: dsntech 时间: 2009-1-5 21:56
3# ic5

关于以上问题，请登陆www.designtech.cn,在“下载中心”查看“气体质量流量控制器说明书”。
如还有不明白，可来电邮。

作者: zzzz 时间: 2009-1-6 08:52
不同的气体因分子量不同因此系数不同,因此即使都显示20SCCM可实际流量未必相同

作者: lunik 时间: 2009-1-6 10:16
楼上的是高手，说的是正确的。每个MFC在出厂校准时，都是用的N2，别的气体都有一个转换系数的。可以看你自己的MFC的说明书

作者: coatinger 时间: 2009-1-9 11:31
楼上正解，查说明书，看转换系数

作者: dsntech 时间: 2009-2-9 21:33
请大家到www.designtech.cn上有介绍。
或者打电话到售后服务：13829231060

作者: dsntech 时间: 2009-2-9 21:45
请大家到www.designtech.cn上有介绍。
或者打电话到售后服务：13829231060

作者: Ion.source 时间: 2009-2-10 21:38
本帖最后由 Ion.source 于 2009-2-10 21:45 编辑

MFC 出厂前都经过校准,一般用氮气,也有用氩气的,所以使用其他气体时,就存在一个转换系数,是在使用时设置的.
我有表格,但不知道怎么样贴图片.

MFC.JPG (178.97 KB, 下载次数: 8)

作者: dsntech 时间: 2009-2-22 23:02
实际上，以N2为基准。
在DSN2000流量显示积算仪中，已经预置了60种常用气体。直接在仪表端（电脑端），由用户根据实际的气体介质进行选择即可。
DSN2000中，还为客户单独预留了一个“混合气体”，如果客户测量的是自己配置的，可以将混合气体的系数（经过计算后）写入DSN2000中，就可以直接读数。

作者: qx__wei 时间: 2009-2-24 15:46
从MFC流量控制到APC自动保压控制需要哪个方面的装置或者部件。

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