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标题: 谈谈APS源 [打印本页]

作者: hgw2001 时间: 2003-6-26 23:35
标题: 谈谈APS源
这是莱宝公司的先进离子源。主要的配件有石墨、阳极筒、LaB6、氮化硼。

作者: hgw2001 时间: 2003-6-26 23:40
标题: 谈谈APS源
阳极的作用：等离子体在电场的两极间产生，阳极构成电极，同时阳极还作为内燃室，激发等离子膨胀，偏转线圈用于排列在阳极里等离子。由于平行于阳极的线圈产生磁场，并防止阴极产生的电子直接流入阳极，取而代之，经们沿磁力线螺旋前进。

作者: hgw2001 时间: 2003-6-26 23:44
标题: 谈谈APS源
阴极LaB6组成。用途是：等离流在电场的两极产生，阴极组成负极。阴极的任务是巨大的热量作用下产生电子，阴极通过与之相联的加热器间接加热。

作者: hgw2001 时间: 2003-6-26 23:48
标题: 谈谈APS源
石墨的主要作用是用来间接加热LaB6的。由于如果对LaB6直接加热的话很容易让LaB6
破裂。所以先用加热器加热石墨然后由石墨辐射出热量来间接加热LaB6。使LaB6产生电子。

作者: ic5 时间: 2003-6-27 00:41
标题: 谈谈APS源
APS源是看作点源好还是面源好？

作者: hgw2001 时间: 2003-6-30 04:49
标题: 谈谈APS源
当然是面源啦。不然你的膜厚能均匀吗

作者: ventura 时间: 2003-6-30 16:48
标题: 谈谈APS源
APS不单卖呦

作者: ic5 时间: 2003-6-30 19:53
标题: 谈谈APS源
但APS的离子束发散角很大，发射孔径有小，所以我认为APS源看作点源更合理，不知道这样认为对否，请赐教！

作者: hgw2001 时间: 2003-7-1 18:29
标题: 谈谈APS源
我觉得可以这样来看。分两个阶段。一是离子在阴极和阳极间时这时可看作是点源。出了这个范围后。同于是向各个方向轰击的。这时可看作是面源。

作者: 张三 时间: 2003-8-15 05:19
标题: 谈谈APS源
我司有啊

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