光电工程师社区

标题: 膜料喷溅问题 [打印本页]

作者: hgw2001 时间: 2003-7-1 18:44
标题: 膜料喷溅问题
蒸镀过程中，特别是高功率情况下，有时可从坩锅中看到带微光的火花出现这就是喷料现象。这是由于膜料不纯或残余料中有气体所致（可能是由于在预熔时没有熔好熔透）喷料也会引起高压跳火。如果喷出的分子达到基片，在某些情况下会导致基片损坏（会产生一些大的点子）或不能用的结局。

作者: jeh 时间: 2003-7-1 18:52
标题: 膜料喷溅问题
我所用过的膜料中：比较易发生喷料的膜料主要是TI+O的化合物。
不知大家还有没有其他的发现。

作者: jet 时间: 2003-7-1 20:51
标题: 膜料喷溅问题
如TIO2、TA2O5等材料的第一次予熔很重要，有时需要予熔两次才可使用。

作者: 风寒雪月缺 时间: 2003-7-2 01:57
标题: 膜料喷溅问题
混合料比较容易喷溅,粉末状的料也容易喷.

作者: feiyang 时间: 2003-7-2 06:34
标题: 膜料喷溅问题
喷料是由于膜料不纯或残余料中有气体,吸收水气所致,主要还是在使用过程中没有予融好,但是使用时速率过大,即使纯度,放气没有问题,也会溅料

作者: 阿杰 时间: 2003-7-6 04:48
标题: 膜料喷溅问题
易产生膜料喷溅的为MGF2主要是坩埚或钨舟污染及膜料不纯

作者: isfm 时间: 2003-7-13 05:47
标题: 膜料喷溅问题
还有些材料在高温时本来就会部分分解放气，对于这类材料蒸发时放气喷溅是无法避免的

作者: royyang 时间: 2012-6-1 23:30
也遇到了这个问题

作者: laoxianccc 时间: 2013-4-27 12:42

作者: 新手求教 时间: 2013-4-28 11:14

作者: 老城 时间: 2013-6-2 02:45
电子枪的扫描，光斑没调好吧

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