光电工程师社区

标题: 关于扩散泵返的油问题 [打印本页]

作者: hgw2001 时间: 2003-7-5 01:17
标题: 关于扩散泵返的油问题
导致扩散泵返油的因素有哪些呢？要如何防止？

作者: ic5 时间: 2003-7-6 01:03
标题: 关于扩散泵返的油问题
有水冷不好、油使用时间过长等，防止方法就是找出上述原因啊！

作者: 阿杰 时间: 2003-7-6 03:58
标题: 关于扩散泵返的油问题
1.各个阀门开关顺序出错。
2。漏气严重。
3。阀门密闭不严。

作者: ic5 时间: 2003-7-6 23:39
标题: 关于扩散泵返的油问题
阿杰说的是手动扩散泵哦，这样的设备不漏有很难，主要看你怎样避免进入真空室，。

作者: hakuto 时间: 2003-7-7 21:13
标题: 关于扩散泵返的油问题
可加装POLYCOLD产品，效果很好。

作者: lavajydm 时间: 2003-7-10 05:56
标题: 关于扩散泵返的油问题
希望你看一下薄膜技术的文章介绍设备的！

作者: isfm 时间: 2003-7-12 07:25
标题: 关于扩散泵返的油问题
使用冷阱会大大减小返油量

作者: ic5 时间: 2003-7-12 17:43
标题: 关于扩散泵返的油问题
POLYCOLD主要是为了除水气，还是为了防返油？

作者: 阿杰 时间: 2003-7-14 01:58
标题: 关于扩散泵返的油问题
POLYCOLD既除水气，还可防返油

作者: YJD 时间: 2009-9-2 23:27
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作者: ouyuu 时间: 2009-9-4 12:51
在泵出口加POLYCOLD或者水冷。
其实水冷也就够了，看油的质量。

个人感觉polycold太贵了，先加水冷试试。

作者: z1206l 时间: 2010-5-28 15:03
哪家的polycold好呢？

作者: yufe16fisher 时间: 2010-5-29 11:42
水冷就可以了吧？抽气效率可以的话，可适当将温度降下，减少返油！

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