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标题: 请教这是什么膜系请教高手 [打印本页]

作者: hngyc 时间: 2003-7-9 09:12
标题: 请教这是什么膜系请教高手
在1.5左右的玻璃上镀上580埃的硅（H）、1310硅二氧化硅（L）
即2（HL）
有什么功能

作者: Jesus 时间: 2003-7-9 18:20
标题: 请教这是什么膜系请教高手
一设计波长的
85:15的分光？

作者: likeoe 时间: 2003-7-9 22:17
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给出一个0°的T和R的曲线，供参考分析

作者: Jesus 时间: 2003-7-9 23:03
标题: 请教这是什么膜系请教高手
楼上的朋友我的软件计算结果和你不同啊
我还是觉得这是个分光膜

作者: Jesus 时间: 2003-7-9 23:04
标题: 请教这是什么膜系请教高手
[这个贴子最后由Jesus在 2003/07/09 03:07pm 第 1 次编辑]

sorry,图片不太清晰，但反射率带在85%
另外，一楼的朋友，你们镀过Si吗？用什么方法监控呢？
蒸发中有什么需要特别注意的问题吗？
我们试镀过Si,但镀制过程中光控走值无法回到起始点，逐渐衰减
请问有没用过Si的朋友告诉下可能是什么原因呢？
色散？吸收？
又该如何解决相应的控制问题呢？

作者: likeoe 时间: 2003-7-10 02:36
标题: 请教这是什么膜系请教高手
我好象怎么也得不到R＝85的结论（H＝58nm,L=131nm)
镀Si是有点难度的，真空度要高，沉积速率要快

作者: coatingli 时间: 2003-7-10 07:10
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首先膜料要预熔彻底，不然很容易喷溅，而且SI在可见光吸收比较大，所以在镀多层是要多装监控片，这样来提高精度，而且好象电子枪要扛的住，束流要大

作者: coatingli 时间: 2003-7-10 07:28
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跟Jesus一样的图

作者: hngyc 时间: 2003-7-10 08:50
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我用电子束蒸发，光学测控，镀第一层硅和第二层二氧化硅，测控仪走值还能理解，第三第四就不好理解了，我镀硅是单色仪是558纳米，镀二氧化硅用760纳米，请问同行：我可以这样镀吗？如果不能应该如何，请问如何蒸发第三、四层

作者: flybirdzll 时间: 2003-7-10 18:09
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我算出来也是一个分光，镀硅前先预镀监控片不就成了吗？

作者: Jesus 时间: 2003-7-11 01:48
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to coatingli  likeoe:
  请问你们所说的蒸发速率要快，大约多少比较合适？
  另外监控片是否需要预镀层？

作者: coatingli 时间: 2003-7-11 05:28
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好象不用，只要多装几个监控片，镀几层换一个即可，蒸发束流要大，因为SI蒸发的比较慢，所以要大啊，而且硅很容易喷溅，所以千万要预熔彻底，还有你的坩埚，最好用石墨坩埚，不然你哪个铜坩埚可是永远都被硅吞没掉了，很难搞掉

作者: hngyc 时间: 2003-7-11 21:19
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我听说石墨与硅反应，怎么还用石墨坩埚？

作者: likeoe 时间: 2003-7-12 06:28
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请问Si和SiO2的折射率分别取多少？我是取Si=3.5，SiO2=1.46
G/2H2L/air Lamda=390nm，这样算出来总是得不到85的反射率，不知哪儿出了问题？

作者: coatingli 时间: 2003-7-12 07:35
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SI一般折射率做不到3.5，而且蒸发速率越快，折射率应该是越低，我通过实验得到大约3.2，石墨坩埚不反应吧，我一直都那样用的哦

作者: Jesus 时间: 2003-7-14 17:55
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likeoe:
Si=3.4 SiO2=1.45
(1H 1L)2
一楼的兄弟膜系应该是这个样子的吧。至于他说的物理厚度，各机器都不一样，做不的数的，你看看这样的膜系如何？应该是85% R%

作者: likeoe 时间: 2003-7-16 09:29
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按这个膜系(即LHLH/Glass)是没错，是85R的分光膜，但我是根据一楼的意思理解成两层膜(2L2H/glass)算的。

作者: 小技工 时间: 2003-7-17 23:36
标题: 请教这是什么膜系请教高手
CD机45度角半透半反镜，P/S光

作者: nickzheng 时间: 2003-7-23 02:07
标题: 请教这是什么膜系请教高手
别搞错了，2（HL）跟2H2L是不一样的。

作者: 1785 时间: 2003-8-5 21:51
标题: 请教这是什么膜系请教高手
3(HL)是650~1020波段的高反膜95%，810的λ/4周期膜系，不知对否？

作者: nickzheng 时间: 2003-12-29 04:10
标题: 请教这是什么膜系请教高手
老兄，Si的透明带是多少你知道吗？对某一种膜料的监控首先要弄清楚它的透明带。Si在可见光透明性很差，所以用可见光监控不准确，信号当然要衰减啦。对于Si的监控波长应该在1000nm以上比较好。

作者: Jesus 时间: 2003-12-29 22:52
标题: 请教这是什么膜系请教高手
哥们，我很清楚Si的透过范围是从1100开始的，所以我的监控波长是1550
可惜还是出现我说的情况，能指教一二吗？

作者: chugqchugq 时间: 2003-12-30 00:50
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Si的折射率为3.25,SiO2为1.44,
G/HlHL/A,670nm半导体激光R=85%分光

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