光电工程师社区

标题: [讨论]脱膜与裂膜 [打印本页]

作者: 风寒雪月缺 时间: 2003-7-9 19:48
标题: [讨论]脱膜与裂膜
镀膜中出现脱膜或裂膜是非常严重的事,造成的愿因也多种多样,大家可否在这个问题上谈谈,提出点改进的建议.

作者: hgw2001 时间: 2003-7-9 21:49
标题: [讨论]脱膜与裂膜
脱膜、裂膜是两种不同的现象。脱膜是由于膜层不牢或膜料与基片附着性不好引起了。而裂膜是由于在蒸发过程中速率太大或离子源太强从而使得的膜层内应力过大导致膜层裂膜。

作者: 风寒雪月缺 时间: 2003-7-10 02:13
标题: [讨论]脱膜与裂膜
lbo比较同意出现上述两中情况，比较令人头痛

作者: rambo 时间: 2003-7-10 21:02
标题: [讨论]脱膜与裂膜
也许还会有许多其他的原因，综合起来就出现问题了！

作者: 1785 时间: 2003-7-10 22:00
标题: [讨论]脱膜与裂膜
我认为最重要的是返油。

作者: ic5 时间: 2003-7-11 00:43
标题: [讨论]脱膜与裂膜
脱膜最大的可能是真空室内存在油脂。裂膜称为膜的龟裂，其原因主要是膜层应力的影响。

作者: ic5 时间: 2003-7-11 00:47
标题: [讨论]脱膜与裂膜
我不同意hgw2001对裂膜原因的看法，其说离子源太强而使膜层内应力过大，我认为增加离子源的强度会减小膜层的内应力。不知道大家认为哪个观点对？

作者: ababab 时间: 2003-7-11 02:39
标题: [讨论]脱膜与裂膜
我认为离子源能量大小应该有个度，否则不裂膜也会有麻点。我曾经碰到过离子源能量太大把铝箔打了许多麻孔。

作者: coatingli 时间: 2003-7-11 05:29
标题: [讨论]脱膜与裂膜
我占同IC5的观点

作者: hngyc 时间: 2003-7-11 06:16
标题: [讨论]脱膜与裂膜
除了用超声波清晰还有什么方法清晰，超声波清洗时用去离子水还是用酒精？？？

作者: hgw2001 时间: 2003-7-11 18:30
标题: [讨论]脱膜与裂膜
我觉得脱膜的原因很多。不能单是清洗的问题。它还跟你的蒸发速率、有没有加温、
有没有离子源、真空度的高低、以及你的真空室的大小等等有关。还有就是材料的附着性。几种材料是不是彼此间有很好的吸附性。

作者: hgw2001 时间: 2003-7-11 18:37
标题: [讨论]脱膜与裂膜
对于离子源的应用我觉得要适当的控制它的偏压。不然会有很多的麻点。当然麻点不单是离子源的问题。也可能是由于你的膜料溅射引起的。

作者: 风寒雪月缺 时间: 2003-7-12 19:39
标题: [讨论]脱膜与裂膜
不同的抛光方法会造成不同的表面层和潜在划痕的存在，会使膜层出现细丝现象，会不会有？

作者: ic5 时间: 2003-7-13 00:37
标题: [讨论]脱膜与裂膜
超声波清洗最好用专用的清洗剂！

作者: 688 时间: 2003-7-13 02:10
标题: [讨论]脱膜与裂膜
真真脱膜的原因应该从多方面去找。不单是那一个原因。与清洁、真空度、返油、应力等有关。

作者: feiyang 时间: 2003-7-13 03:42
标题: [讨论]脱膜与裂膜
脱膜主要与室内油脂含量，基底油脂含量，温度，膜料纯度有关吧？裂膜与应力能量关系更大一点吧？

作者: 风寒雪月缺 时间: 2003-7-14 21:04
标题: [讨论]脱膜与裂膜
lbo膜层出现的细丝主要是什么造成的呢？？？

作者: hgw2001 时间: 2003-7-15 22:42
标题: [讨论]脱膜与裂膜
会出现这种情况吗？我以前镀这种东西的时候没有出现这种问题。镀LBO出现问题较多的是脱膜。和有麻点。

作者: 风寒雪月缺 时间: 2003-7-16 03:22
标题: [讨论]脱膜与裂膜
脱膜现在少多了，主要是镀完之后出现细丝，有时整个面全是，不知是什么原因

作者: 风寒雪月缺 时间: 2003-7-16 03:28
标题: [讨论]脱膜与裂膜
这种现象和冷加工的关系大不大

作者: hgw2001 时间: 2003-7-16 18:18
标题: [讨论]脱膜与裂膜
这只能从每道工顺查起，不过我估计最大的可能有出现在冷加工。这下你们可惨了。LBO这么贵。这东西在镀时就有点怕。太贵了。

作者: 小技工 时间: 2003-7-17 23:33
标题: [讨论]脱膜与裂膜
离子源功率过大，膜层应力会变成压应力，膜层一样会裂

作者: hgw2001 时间: 2003-7-18 17:25
标题: [讨论]脱膜与裂膜
同意上面的观点。离子源的使用要很好的控制好它的能量这样才能提高你膜层的质量。

作者: feiyang 时间: 2003-7-20 05:20
标题: [讨论]脱膜与裂膜
镀制能量过高和过低都会出现裂的情况，

作者: Fengs2002 时间: 2003-7-29 18:24
标题: [讨论]脱膜与裂膜
蒸发角度不好也容易造成脱膜（对于行星式）

作者: Portia 时间: 2003-7-29 18:39
标题: [讨论]脱膜与裂膜
除了大家说的真空室内各种污染以外，脱膜跟膜料与基体的结合力（也就是膜层附着力）关系很大。
有时为了增强膜层附着力，需要在基体上先镀一层底膜。

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-10-16 21:04
学习了

作者: stl03132 时间: 2011-10-16 22:51

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